| 講演名 | 2014-07-17 金属回折格子によるSOIフォトダイオードの感度向上(光・電波ワークショップ) 佐藤 弘明, 岩田 将平, 小野 篤史, 猪川 洋, |
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| 抄録(和) | SOI(silicon-on-insulator)技術による集積回路は,バルクシリコンのものと比較して動作速度,消費電力や集積度などの点で優れているが,SOI膜厚は200nm以下とする場合が一般的で光吸収層が薄いため,十分な感度を有する光検出器を作り込むことは困難であった.本報告ではその解決方法の一つとして,SOIフォトダイオード上にライン・アンド・スペース型の金属回折格子を配置する方法によって,特定の波長・偏光に対して感度をおよそ1桁向上できることを,実際に作製した金の回折格子付SOIフォトダイオードの測定結果に基づいて説明する. |
| 抄録(英) | The integrated circuits based on SOI (silicon-on-insulator) technology have the advantages of operation speed, power consumption, circuit density, etc., compared with those of bulk silicon. However, the sensitivity of SOI photodetectors is usually not high due to the small thickness. To enhance the sensitivity, a new type of SOI photodiode with line-and-space metal grating has been proposed. In this report, it is shown that the approximately one-order magnitude enhancement for specific wavelength and polarization can be achieved by applying the line-and-space metal grating to thin SOI photodiode. |
| キーワード(和) | SOIフォトダイオード / 金属回折格子 / 波長選択性 / 偏光依存性 |
| キーワード(英) | SOI photodiode / metal diffraction grating / wavelength selectivity / polarization dependence |
| 資料番号 | MW2014-61,OPE2014-30,EST2014-22,MWP2014-19 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | MWP |
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| 開催期間 | 2014/7/10(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Microwave and Millimeter-wave Photonics (MWP) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 金属回折格子によるSOIフォトダイオードの感度向上(光・電波ワークショップ) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Sensitivity Enhancement of SOI Photodiode by Metal Diffraction Grating |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | SOIフォトダイオード / SOI photodiode |
| キーワード(2)（和/英） | 金属回折格子 / metal diffraction grating |
| キーワード(3)（和/英） | 波長選択性 / wavelength selectivity |
| キーワード(4)（和/英） | 偏光依存性 / polarization dependence |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 佐藤 弘明 / Hiroaki SATOH |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学電子工学研究所:静岡大学大学院工学研究科 Research Institute of Electronics, Shizuoka University:Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 岩田 将平 / Shohei IWATA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 小野 篤史 / Atsushi ONO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 静岡大学電子工学研究所:静岡大学大学院工学研究科 Research Institute of Electronics, Shizuoka University:Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 猪川 洋 / Hiroshi INOKAWA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 静岡大学電子工学研究所:静岡大学大学院工学研究科 Research Institute of Electronics, Shizuoka University:Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 発表年月日 | 2014-07-17 |
| 資料番号 | MW2014-61,OPE2014-30,EST2014-22,MWP2014-19 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | 144 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |