| 講演名 | 2014-06-20 フレキシブル透明TFTに向けた低温プロセスZnO薄膜の結晶性評価(材料デバイスサマーミーティング) 渡邉 拓, / 山内 博, 國吉 繁一, 飯塚 正明, 酒井 正俊, 工藤 一浩, |
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| 抄録(和) | 印刷法によるフレキシブルディスプレイの実現に向けて、透明な塗布型ZnO-FET上に有機発光層を積層した構造を提案した。横型のZnO-FETを作製しUV/O_3アシストにより低温領域内で電流値の向上が見られ低プロセス温度化を実現した。この要因をX線回折評価法で調べたところ、ZnOは低温領域では結晶化しておらず、上記の電流値の向上はUV/O_3アシストによる薄膜内に存在する有機系不純物除去量の増加が主な原因として挙げられる。 |
| 抄録(英) | We proposed a new flexible organic light emitting transistor (OLET) that had an OLED directly on transparent FETs fabricated on a plastic substrate. In this study, the effects of UV/O_3 and thermal treatment on wet processed ZnO-FET characteristics were investigated. Realizing a low-process temperature of ZnO-FET was successful in terms of the mobility and current. We evaluated the crystallinity of ZnO films by X-ray diffraction and found it non-crystalline form in the range of the low-process temperature less than 300 degree C. These results indicate that UV/O_3 treatment mainly leads to such as a decrease of organic impurities in ZnO thin films and improve carrier transportation. |
| キーワード(和) | 塗布型ZnO / 透明ZnOトランジスタ / UV/O_3アシスト熱処理法 / ZnO結晶性評価 |
| キーワード(英) | wet process / transparent ZnO-TFT / UV/O_3 assisted thermal treatment / crystalline evaluation |
| 資料番号 | EMD2014-9,CPM2014-29,OME2014-17 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2014/6/13(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | フレキシブル透明TFTに向けた低温プロセスZnO薄膜の結晶性評価(材料デバイスサマーミーティング) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Crystalline Evaluation of ZnO Thin Film Fabricated by Lowtemperature Process for Flexible Transparent TFT |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 塗布型ZnO / wet process |
| キーワード(2)（和/英） | 透明ZnOトランジスタ / transparent ZnO-TFT |
| キーワード(3)（和/英） | UV/O_3アシスト熱処理法 / UV/O_3 assisted thermal treatment |
| キーワード(4)（和/英） | ZnO結晶性評価 / crystalline evaluation |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 渡邉 拓 / Hiraku WATANABE |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 千葉大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Chiba University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | / 山内 博 / Adie Bin Mohd KHAFE |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 千葉大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Chiba University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 國吉 繁一 / Hiroshi YAMAUCHI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 千葉大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Chiba University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 飯塚 正明 / Shigekazu KUNIYOSHI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 千葉大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Chiba University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 酒井 正俊 / Masaaki IIZUKA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 千葉大学教育学部 Faculty of Education, Chiba University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 工藤 一浩 / Masatoshi SAKAI |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 千葉大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Chiba University |
| 発表年月日 | 2014-06-20 |
| 資料番号 | EMD2014-9,CPM2014-29,OME2014-17 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | 96 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |