| 講演名 | 2013-12-13 液体ガラスを用いた量子井戸混晶化とその面発光レーザ応用に関する研究(半導体レーザ関連技術,及び一般) 阿久津 友宏, 牛尾 拓也, 菊池 麻子, 松谷 晃宏, 宮本 智之, |
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| 抄録(和) | 液体ガラス(SOG)を用いた量子構造混晶化を面発光レーザに適用し,活性層内のキャリア閉じ込めを行った.ノンドープSOGを用いた混晶化は巨大なエネルギーシフトが可能であり,メサ側面に容易に膜形成することができる.プロセスは従来工程に膜形成および加熱をするだけという簡単なものである.その結果30μm径および15μm径の面発光レーザで発振に成功した.この手法により,微小構造の面発光レーザにおいて更なる特性改善が見込まれる. |
| 抄録(英) | The applicability of the quantum well intermixing using a spin-on-glass (SOG) to the fabrication process of a vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) was investigated to control the carrier confinement in the active layer. The intermixing by using the non-doped SOG showed a large emission energy shift. The SOG coating of the mesa side-wall of the VCSEL and following heat-treatment are simple processes that can add to the conventional one. The fabricated VCSELs with a 30μm-square mesa and 15μm-diameter mesa showed lasing operation, and therefore the technique can be applicable as the VCSEL process for improving the performance of the small mesa devices. |
| キーワード(和) | 面発光レーザ / 量子構造混晶化 / 液体ガラス |
| キーワード(英) | VCSEL / Quantum Well Intermixing / Spin-on-Glass |
| 資料番号 | LQE2013-126 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 2013/12/6(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 液体ガラスを用いた量子井戸混晶化とその面発光レーザ応用に関する研究(半導体レーザ関連技術,及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Quantum well intermixing using spin-on-glass and its application to VCSELs |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 面発光レーザ / VCSEL |
| キーワード(2)（和/英） | 量子構造混晶化 / Quantum Well Intermixing |
| キーワード(3)（和/英） | 液体ガラス / Spin-on-Glass |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 阿久津 友宏 / Tomohiro AKUTSU |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京工業大学精密工学研究所フォトニクス集積システム研究センター Photonics Integration System Research Center, P&I Lab., Tokyo Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 牛尾 拓也 / Takuya USHIO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京工業大学精密工学研究所フォトニクス集積システム研究センター Photonics Integration System Research Center, P&I Lab., Tokyo Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 菊池 麻子 / Asako KIKUCHI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京工業大学精密工学研究所フォトニクス集積システム研究センター Photonics Integration System Research Center, P&I Lab., Tokyo Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 松谷 晃宏 / Akihiro MATSUTANI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東京工業大学精密工学研究所フォトニクス集積システム研究センター Photonics Integration System Research Center, P&I Lab., Tokyo Institute of Technology |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 宮本 智之 / Tomoyuki MIYAMOTO |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東京工業大学精密工学研究所フォトニクス集積システム研究センター Photonics Integration System Research Center, P&I Lab., Tokyo Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2013-12-13 |
| 資料番号 | LQE2013-126 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | 352 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
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