| 講演名 | 2013-12-13 BLDA(青色半導体ダイオードアニール)によるSi薄膜結晶化と応用(シリコン関連材料の作製と評価) 野口 隆, 岡田 竜弥, |
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| 抄録(和) | 青色半導体レーザによるSi薄膜の結晶化と応用の可能性に関して述べる。青色波長域ではSiへの吸収効率が高く、高出力の青色半導体レーザアニール(BLDA)により、ガラス上に20nm-1 μm厚に堆積されたSi膜を有効に結晶化することができる。100 nm厚以下の膜に対して均一な加熱が可能であるが、高出力照射では、一方向に伸びる異方性の結晶化膜が実現され、TFTの高移勧化が期待される。従来のUVレーザ(エキシマ)では実現が困難である小粒径の膜が非常に平坦に実現され、有機ELパネル駆動に要求される均一な特性の素子(TFT)として期待される。一方、1μm程の比較的厚いSi膜の結晶化も可能であり、高感度光センサや薄膜太陽電池の応用も期待される。不純物をドープした場合、非常に低抵抗の膜が容易に実現でき、高性能素子のための電極に期待される。スパッタ法製膜によれば、低温で結晶化が可能でプラスチックなどフレキシブルパネル応用も期待される。 |
| 抄録(英) | Semiconductor Blue Laser-Diode Annealing (BLDA) for Si films and the possibility are discussed. Excimer laser annealing is currently used as a low temperature poly-Si (LTPS) for active matrix flat panel display because of the effectiveness to crystallize thin Si film on glass. On the other hand, uniform heating of thin Si films can be realized by adopting semiconductor lasers in blue light at 445 nm, which enables to produce the various grain structures with keeping the Si surface smooth. BLDA is promising as an advanced LTPS for TFT systems on plastic sheets as well as on glass panel. |
| キーワード(和) | Si / 結晶化 / 粒径 / レーザアニール / TFT |
| キーワード(英) | Si / Crystallization / Grain size / Laser Annealing / TFT |
| 資料番号 | SDM2013-125 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2013/12/6(から1日開催) |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | BLDA(青色半導体ダイオードアニール)によるSi薄膜結晶化と応用(シリコン関連材料の作製と評価) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Crystallization of Si Films and the Applications using BLDA (Blue Laser-Diode Annealing) |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | Si / Si |
| キーワード(2)（和/英） | 結晶化 / Crystallization |
| キーワード(3)（和/英） | 粒径 / Grain size |
| キーワード(4)（和/英） | レーザアニール / Laser Annealing |
| キーワード(5)（和/英） | TFT / TFT |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 野口 隆 / Takashi NOGUCHI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 琉球大学工学部 Faculty of Engineering, University of the Ryukyus |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 岡田 竜弥 / Tatsuya OKADA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 琉球大学工学部 Faculty of Engineering, University of the Ryukyus |
| 発表年月日 | 2013-12-13 |
| 資料番号 | SDM2013-125 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | 351 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |