講演名 2014-05-29
窒化物系LED作製のレーザー加工による光取り出し効率向上の検討(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)及びその他)
花井 駿, 鈴木 敦志, 北野 司, 飯田 大輔, 加藤 貴久, 岩谷 素顕, 竹内 哲也, 上山 智, 赤崎 勇,
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抄録(和) 低コストでLEDデバイスを作製するには、個々のデバイスの間隔を狭くする必要がある。レーザーによるへき開のための溝形成は、狭ピッチでの分離を可能とし、同時に高精度かつ高スループットが実現できる。しかし、レーザー加工によって形成された溝側面には非晶質酸化物が存在しており、それによる光吸収による損失が課題となっている。本報告では、この非晶質酸化物の完全除去を行うために、新しいLED作製プロセスを提案する。新プロセスを導入することで光吸収損失を抑制し、1.25倍の光出力の向上が得られた。
抄録(英) For reduction of a manufacturing cost of the light-emitting-diode (LED), it is necessary to reduce the distance of individual devices. Laser scribing method is suitable to break wafer into narrow chips, and it enables precise and high throughput production. However, on the side wall of the laser scribed grooves, aluminum-rich amorphous oxide product, which causes the light absorption loss, is formed, after the irradiation of the laser beam. To solve this problem, we propose a new LED fabrication procedure. As a result of the new process, 25% improvement of the light output in a flip chip type blue LED was obtained.
キーワード(和) 窒化物LED / レーザー加工 / 光取り出し効率 / 熱リン酸 / 非晶質酸化物
キーワード(英) Nitride-Based LED / laser process / light extraction efficiency / hot phosphoric acid / amorphous oxide
資料番号 ED2014-31,CPM2014-14,SDM2014-29
発行日

研究会情報
研究会 CPM
開催期間 2014/5/21(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Component Parts and Materials (CPM)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 窒化物系LED作製のレーザー加工による光取り出し効率向上の検討(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)及びその他)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Investigation of laser scribing in fabrication of nitride-based LEDs for improvement of light extraction efficiency
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 窒化物LED / Nitride-Based LED
キーワード(2)(和/英) レーザー加工 / laser process
キーワード(3)(和/英) 光取り出し効率 / light extraction efficiency
キーワード(4)(和/英) 熱リン酸 / hot phosphoric acid
キーワード(5)(和/英) 非晶質酸化物 / amorphous oxide
第 1 著者 氏名(和/英) 花井 駿 / Shun HANAI
第 1 著者 所属(和/英) 名城大学大学院理工学研究科
Faculty of Science and Technology, Meijo University
第 2 著者 氏名(和/英) 鈴木 敦志 / Atsushi SUZUKI
第 2 著者 所属(和/英) 名城大学大学院理工学研究科:ELSEED株式会社
ELSEED Corporation
第 3 著者 氏名(和/英) 北野 司 / Tsukasa KITANO
第 3 著者 所属(和/英) 名城大学大学院理工学研究科:ELSEED株式会社
ELSEED Corporation
第 4 著者 氏名(和/英) 飯田 大輔 / Daisuke IIDA
第 4 著者 所属(和/英) 名城大学大学院理工学研究科
Faculty of Science and Technology, Meijo University
第 5 著者 氏名(和/英) 加藤 貴久 / Takahisa KATO
第 5 著者 所属(和/英) 名城大学大学院理工学研究科
Faculty of Science and Technology, Meijo University
第 6 著者 氏名(和/英) 岩谷 素顕 / Motoaki IWAYA
第 6 著者 所属(和/英) 名城大学大学院理工学研究科
Faculty of Science and Technology, Meijo University
第 7 著者 氏名(和/英) 竹内 哲也 / Tetsuya TAKEUCHI
第 7 著者 所属(和/英) 名城大学大学院理工学研究科
Faculty of Science and Technology, Meijo University
第 8 著者 氏名(和/英) 上山 智 / Satoshi KAMIYAMA
第 8 著者 所属(和/英) 名城大学大学院理工学研究科
Faculty of Science and Technology, Meijo University
第 9 著者 氏名(和/英) 赤崎 勇 / Isamu AKASAKI
第 9 著者 所属(和/英) 名城大学大学院理工学研究科:名古屋大学赤暗記念研究センター
Faculty of Science and Technology, Meijo University:Akasaki Research Center, Nagoya University
発表年月日 2014-05-29
資料番号 ED2014-31,CPM2014-14,SDM2014-29
巻番号(vol) vol.114
号番号(no) 57
ページ範囲 pp.-
ページ数 4
発行日