| 講演名 | 2014-05-28 LiMn_2O_4薄膜の生成条件の最適化(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)及びその他) 早川 由洋, 以西 雅章, 冨田 靖正, |
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| 抄録(和) | RFマグネトロンスパッタリング法により,Li二次電池正極用のLiMn_2O_4薄膜を生成している.本研究では,生成条件を変数として薄膜を生成し,膜厚測定,X線回折による生成物質の同定を行い,生成条件による薄膜の変化を評価した.その結果,RF電力を150W,堆積時間を3時間,Ar:O_2=4:0.4のときが最も組成のずれが小さい事が分かった.また,代表的な条件で充放電特性を測定した結果,約65mAh/gの放電容量が得られ,リチウム二次電池の正極として機能していることが分かった. |
| 抄録(英) | The LiMn_2O_4 thin films for Li secondary batteries have been prepared by a RF magnetron sputtering method. In this research, we have prepared LiMn_2O_4 films under various preparation conditions. We measured film thickness and evaluated the composition of films by X-ray diffraction (XRD). As a result, we understood that the deficiency of film composition was the smallest under the deposition condition of RF power of 150 W, deposition time of 3 hour and Ar:O_2 flow ratio of 4:0.4. We measured charge-discharge characteristics of a representative film. It showed good charge-discharge curve with high voltage, but charge-discharge efficiency was not so good. It was shown that the capacity of a film was approximately 65 mAh/g. This value means 60 % of theoretical capacity. |
| キーワード(和) | LiMn_2O_4薄膜 / RFマグネトロンスパッタリング / Li二次電池 |
| キーワード(英) | LiMn_2O_4 thin film / RF magnetron sputtering / Li secondary batteries |
| 資料番号 | ED2014-23,CPM2014-6,SDM2014-21 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2014/5/21(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | LiMn_2O_4薄膜の生成条件の最適化(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)及びその他) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Optimization of the preparation condition of LiMn_2O_4 film |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | LiMn_2O_4薄膜 / LiMn_2O_4 thin film |
| キーワード(2)（和/英） | RFマグネトロンスパッタリング / RF magnetron sputtering |
| キーワード(3)（和/英） | Li二次電池 / Li secondary batteries |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 早川 由洋 / Yoshihiro Hayakawa |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学研究科 Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 以西 雅章 / Masaaki Isai |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学研究科 Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 冨田 靖正 / Yasumasa Tomita |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部電子物質化学科 Electronics and Materials Science, Shizuoka University |
| 発表年月日 | 2014-05-28 |
| 資料番号 | ED2014-23,CPM2014-6,SDM2014-21 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | 57 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |