| 講演名 | 2013-11-28 m面GaNの異方性ドライエッチングによるテクスチャーの形成とこれによるLED光取り出し効率の向上(窒化物及び混晶半導体デバイス,及び一般) 藤田 稔之, 山田 篤志, 井上 彰, 加藤 亮, 横川 俊哉, |
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| 抄録(和) | 非極性面であるm面GaN-LEDの光取り出し効率向上のための検討を行なった。充填率80%以上且つ傾斜角度40度以上のテクスチャーを形成し、光取り出し効率が最大となることをシミュレーションによって確認した。傾斜角度40度以上を形成するために、安定なファセットを用いたドライエッチング手法によって高効率を実現するテクスチャー構造を形成することに成功した。化学エッチング効果を持った異方性エッチングを行なうことによって角度40度以上の安定なファセット面を形成し、テクスチャー構造を作製した。テクスチャーなしのLEDと比べ、1.4倍程度の光出力の向上を確認した。 |
| 抄録(英) | We studied improvement of light extract efficiency(LEE) about non-polar m-plane GaN LED. We simulated the LEE, concluded that the best texture structure is both the angle over 40deg. and the filling ratio 80%. We found the 3planes of these stable facets to satisfy the simulated texture is both the angle 40deg. over. We succeeded in the fabrication of these facets to take the dry etching which is anisotropic dry etching assist chemical etching effect. The light output of LED with texture ysing chemically stable facets is enhanced by 1.44 times comparing with mirror surfaces. |
| キーワード(和) | 非極性面 / GaN / LED / 光取り出し効率 / ドライエッチング / テクスチャー / ファセット面 |
| キーワード(英) | non-polar / GaN / LED / light extract efficiency / dry etching / texture / facet |
| 資料番号 | ED2013-65,CPM2013-124,LQE2013-100 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 2013/11/21(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | m面GaNの異方性ドライエッチングによるテクスチャーの形成とこれによるLED光取り出し効率の向上(窒化物及び混晶半導体デバイス,及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Texture formation by anisotropic dry etching of m-plane GaN, and light extraction efficiency improvement of textured m-plane GaN LED |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 非極性面 / non-polar |
| キーワード(2)（和/英） | GaN / GaN |
| キーワード(3)（和/英） | LED / LED |
| キーワード(4)（和/英） | 光取り出し効率 / light extract efficiency |
| キーワード(5)（和/英） | ドライエッチング / dry etching |
| キーワード(6)（和/英） | テクスチャー / texture |
| キーワード(7)（和/英） | ファセット面 / facet |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 藤田 稔之 / Toshiyuki Fujita |
| 第 1 著者 所属（和/英） | パナソニック株式会社オートモーティブ&インダストリアルシステムズ社 Green Innovation development Center Corporate Engineering Division Automotive & Industrial Systems Company Panasonic Corporation |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 山田 篤志 / Atsushi Yamada |
| 第 2 著者 所属（和/英） | パナソニック株式会社オートモーティブ&インダストリアルシステムズ社 Green Innovation development Center Corporate Engineering Division Automotive & Industrial Systems Company Panasonic Corporation |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 井上 彰 / Akira Inoue |
| 第 3 著者 所属（和/英） | パナソニック株式会社オートモーティブ&インダストリアルシステムズ社 Green Innovation development Center Corporate Engineering Division Automotive & Industrial Systems Company Panasonic Corporation |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 加藤 亮 / Ryou Kato |
| 第 4 著者 所属（和/英） | パナソニック株式会社オートモーティブ&インダストリアルシステムズ社 Green Innovation development Center Corporate Engineering Division Automotive & Industrial Systems Company Panasonic Corporation |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 横川 俊哉 / Toshiya Yokokawa |
| 第 5 著者 所属（和/英） | パナソニック株式会社オートモーティブ&インダストリアルシステムズ社 Green Innovation development Center Corporate Engineering Division Automotive & Industrial Systems Company Panasonic Corporation |
| 発表年月日 | 2013-11-28 |
| 資料番号 | ED2013-65,CPM2013-124,LQE2013-100 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | 331 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
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