| 講演名 | 2014-04-11 ブルーマルチレーザダイオードアニールを施したガラス上Si薄膜の光伝導特性(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術,バイオテクノロジー,及び一般) ジャヤナダ コスワッタゲー チャリット, 知念 怜, 杉原 弘也, 岡田 竜弥, 野口 隆, |
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| 抄録(和) | ガラス上のSi膜の機能光センサ応用をめざし、ブルーマルチレーザダイオードアニール(BLDA)を施したSi膜の光伝導性について調べた。レーザパワーを4～6wに増加するにつれて大粒形の薄膜が形成され、光導電率が増加することがわかった。さらに、レーザ照射し結晶化されたSi膜に対して、H_2/N_2(4%)ガス雰囲気中において450℃[1h]の低温アニールを施した。6WでBLDA照射後のSi膜では100[mW/cm^2]の白色光照射下で、94倍の光感度比(σ_ |
| 抄録(英) | Photoconductivity of BLDA applied Si film was examined for the aim of multi-functional optical sensor application of the Si film on glass. Photoconductivity was increased due to the formation of large grains with the increase of laser power from 4 to 6 W. Furthermore, Si film crystallized by laser irradiation has been subjected to low-temperature annealing at 450℃ for 1h in H_2/N_2 (4%) gas atmosphere. Photosensitivity ratio of 94 (σ_ |
| キーワード(和) | シリコン / レーザアニール / 結晶化 / 結晶化 |
| キーワード(英) | Silicon / Laser annealing / Crystallization / Photoconductive characteristic |
| 資料番号 | SDM2014-15,OME2014-15 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2014/4/3(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ブルーマルチレーザダイオードアニールを施したガラス上Si薄膜の光伝導特性(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術,バイオテクノロジー,及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Photoconductivity of Si Films on glass after Blue Multi-Laser Diode Annealing |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | シリコン / Silicon |
| キーワード(2)（和/英） | レーザアニール / Laser annealing |
| キーワード(3)（和/英） | 結晶化 / Crystallization |
| キーワード(4)（和/英） | 結晶化 / Photoconductive characteristic |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | ジャヤナダ コスワッタゲー チャリット / Koswaththage Charith Jayanada |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 琉球大学工学部 Faculty of Engineering, University of the Ryukyus |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 知念 怜 / Satoshi Chinen |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 琉球大学工学部 Faculty of Engineering, University of the Ryukyus |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 杉原 弘也 / Kouya Sugihara |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 琉球大学工学部 Faculty of Engineering, University of the Ryukyus |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 岡田 竜弥 / Tatsuya Okada |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 琉球大学工学部 Faculty of Engineering, University of the Ryukyus |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 野口 隆 / Takashi Noguchi |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 琉球大学工学部 Faculty of Engineering, University of the Ryukyus |
| 発表年月日 | 2014-04-11 |
| 資料番号 | SDM2014-15,OME2014-15 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | 1 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | |