| 講演名 | 2014-04-11 BLDAを用いた低温プロセスpoly-Si TFT(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術,バイオテクノロジー,及び一般) 下田 清治, 杉原 弘也, 井村 公彦, 岡田 竜弥, 野口 隆, |
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| 抄録(和) | 低コストでの製造プロセスによるpoly-SiTFTは、ガラス上およびフレキシブルパネルに必要とされている。本研究では、近年、新しいLTPS(低温ポリシリコン)として報告されているBLDA(青色半導体レーザダイオードアニール)を用いてイオン注入なしでトップゲート型TFTを作製した。作製したTFTに水素アニールを施すことで特性の向上ができた。水素アニールを含めTFTは400℃以下の低温プロセスで作製したことから、BLDAを用いたTFTはフレキシブル基板上への応用が期待される。 |
| 抄録(英) | Poly-Si TFTs by low cost fabrication process are required on glass as well as on flexible panel. Top-gate-type TFT without ion-implantation was fabricated with ultra-low temperature process below 400℃ using BLDA. Ti was adopted for source and drain. High performance TFTs formed by low cost process are expected on plastic and on flexible sheet using BLDA. |
| キーワード(和) | 薄膜トランジスタ / 低温 / シリコン / 結晶化 / レーザアニール |
| キーワード(英) | TFT / Low temperature / Silicon / Crystallization / Laser annealing |
| 資料番号 | SDM2014-14,OME2014-14 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2014/4/3(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | BLDAを用いた低温プロセスpoly-Si TFT(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術,バイオテクノロジー,及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of poly-Si TFT with low-temperature process using BLDA |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 薄膜トランジスタ / TFT |
| キーワード(2)（和/英） | 低温 / Low temperature |
| キーワード(3)（和/英） | シリコン / Silicon |
| キーワード(4)（和/英） | 結晶化 / Crystallization |
| キーワード(5)（和/英） | レーザアニール / Laser annealing |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 下田 清治 / Kiyoharu Shimoda |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 琉球大学工学部 Faculty of Engineering, University of the Ryukyus |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 杉原 弘也 / Kouya Sugihara |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 琉球大学工学部 Faculty of Engineering, University of the Ryukyus |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 井村 公彦 / Kimihiko Imura |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 琉球大学工学部 Faculty of Engineering, University of the Ryukyus |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 岡田 竜弥 / Tatsuya Okada |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 琉球大学工学部 Faculty of Engineering, University of the Ryukyus |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 野口 隆 / Takashi Noguchi |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 琉球大学工学部 Faculty of Engineering, University of the Ryukyus |
| 発表年月日 | 2014-04-11 |
| 資料番号 | SDM2014-14,OME2014-14 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | 1 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | |