| 講演名 | 2014-04-11 大粒径薄膜poly-siを利用したガラス上低温poly-siTFTの高性能化(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術,バイオテクノロジー,及び一般) 原 明人, 加茂 慎哉, 佐々木 駿, 目黒 達也, 佐藤 旦, 北原 邦紀, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | フラットパネルディスプレイで使われるような安価なガラス基板上でpoly-SiTFTの性能を向上させるためには、微細化と別のアプローチが必要である。この視点に基づいて行ったラテラル大粒径poly-Si膜をチャネルに利用した自己整合メタルダブルゲート低温poly-siTFT、4端子駆動自己整合メタルダブルゲート低温poly-siTFT、スパッタhigh-k低温po1y-siTFTの優れた性能について紹介する。 |
| 抄録(英) | To improve the performance of LT poly-Si TFTs on cheap glass substrates, such as those used in FPD, approaches that do not depend only on scaling are required. In this paper, we report the high performance of self-aligned metal double-gate LT poly-Si TFTs, four-terminal metal double-gate LT poly-Si TFTs, and sputtered high-k LT poly-Si TFTs, in which the channel region consists of a lateral large-grained thin poly-Si film. |
| キーワード(和) | poly-Si / TFT / double gate / 4端子 |
| キーワード(英) | poly-Si / TFT / double gate / four-terminal |
| 資料番号 | SDM2014-10,OME2014-10 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
|---|---|
| 開催期間 | 2014/4/3(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 大粒径薄膜poly-siを利用したガラス上低温poly-siTFTの高性能化(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術,バイオテクノロジー,及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | High performance LT poly-Si TFTs on glass substrate by using lateral large grained thin poly-Si film |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | poly-Si / poly-Si |
| キーワード(2)（和/英） | TFT / TFT |
| キーワード(3)（和/英） | double gate / double gate |
| キーワード(4)（和/英） | 4端子 / four-terminal |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 原 明人 / Akito Hara |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北学院大学工学部 Faculty of Engineering, Tohoku Gakuin University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 加茂 慎哉 / Shinya Kamo |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北学院大学工学部 Faculty of Engineering, Tohoku Gakuin University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 佐々木 駿 / Shun Sasaki |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北学院大学工学部 Faculty of Engineering, Tohoku Gakuin University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 目黒 達也 / Tatsuya Meguro |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東北学院大学工学部 Faculty of Engineering, Tohoku Gakuin University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 佐藤 旦 / Tadashi Sato |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 広島大学RNBS RNBS, Hiroshima University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 北原 邦紀 / Kuninori Kitahara |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 島根大学総合理工学部 Interdisciplinary Faculty of Science and Engineering, Shimane University |
| 発表年月日 | 2014-04-11 |
| 資料番号 | SDM2014-10,OME2014-10 |
| 巻番号（vol） | vol.114 |
| 号番号（no） | 1 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |