| 講演名 | 2014-02-28 リアルタイムOSによる時間確定型エレクトロマイグレーション制御システム(機能ナノデバイス及び関連技術) 安藤 昌澄, 金丸 祐真, 齋藤 孝成, 白樫 淳一, |
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| 抄録(和) | 金属細線におけるエレクトロマイグレーション(EM)を利用したナノギャップなどのナノ構造形成技法として,EMの発現強度をフィードバック手法により調整するフィードバック制御型エレクトロマイグレーション(FCE)法が知られている.我々はこれまで,FCE法に分割プロセスを取り入れた分割型電圧フィードバックエレクトロマイグレーション(SFCE)法を提案し,金属ナノチャネルの抵抗制御特性について検討を行ってきた.今回は,フィードバック制御のシステム応答性の観点から,高精度な実時間処理と,厳密な時間スケジューリングに基づくタスク管理を可能にするリアルタイムオペレーティングシステム(RTOS)に着目し,時間確定型エレクトロマイグレーション制御システムの構築を行った.また,開発した本システムをAuチャネルに適用し,その抵抗制御特性についてGPIBと汎用OSを組み合わせた従来のシステムとの比較を行った. |
| 抄録(英) | Electromigration method becomes promising for the fabrication of nanogap electrodes. However, the nanogap electrodes fabricated by this method tend to exhibit high tunnel resistance. A feedback-controlled electromigration (FCE) scheme has been successfully and widely employed to make nanogaps with controlled electrical properties. We have already reported that the control of the channel resistance of metal nanowires is performed by stepwise-feedback controlled electromigration (SFCE) using general-purpose operating system (GPOS). SFCE procedure finely and stepwisely divides a conventional FCE scheme into several FCE cycles. Here, we propose SFCE method using real-time operating system (RTOS) in order to precisely and stably tune the channel resistance of metal nanowire at room temperature. GPOS is usually designed to maintain user responsiveness with many programs and services running, while RTOS is designed to run critical applications reliably and with precise timing. In this report, it is revealed that control characteristics of the channel resistance of metal nanowire are successfully improved using RTOS-controlled SFCE method, as compared with SFCE using GPOS. These results indicate that RTOS is useful for the stable control of the channel resistance of metal nanowire using SFCE scheme. |
| キーワード(和) | リアルタイムOS / エレクトロマイグレーション / ナノギャップ / 電圧フィードバックエレクトロマイグレーション |
| キーワード(英) | real-time operating system / electromigration / nanogap / feedback-controlled electromigration |
| 資料番号 | ED2013-146,SDM2013-161 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2014/2/20(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | リアルタイムOSによる時間確定型エレクトロマイグレーション制御システム(機能ナノデバイス及び関連技術) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Tuning of Resistance of Au Nanowires by Feedback-Controlled Electromigration Using Real-Time Operating System(RTOS) |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | リアルタイムOS / real-time operating system |
| キーワード(2)（和/英） | エレクトロマイグレーション / electromigration |
| キーワード(3)（和/英） | ナノギャップ / nanogap |
| キーワード(4)（和/英） | 電圧フィードバックエレクトロマイグレーション / feedback-controlled electromigration |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 安藤 昌澄 / Masazumi ANDO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 国立大学法人東京農工大学大学院工学研究院 Department of Electrical and Electronic Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 金丸 祐真 / Yuma KANAMARU |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 国立大学法人東京農工大学大学院工学研究院 Department of Electrical and Electronic Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 齋藤 孝成 / Takanari SAITO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 国立大学法人東京農工大学大学院工学研究院 Department of Electrical and Electronic Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 白樫 淳一 / Jun-ichi SHIRAKASHI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 国立大学法人東京農工大学大学院工学研究院 Department of Electrical and Electronic Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology |
| 発表年月日 | 2014-02-28 |
| 資料番号 | ED2013-146,SDM2013-161 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | 450 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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