| 講演名 | 2014-02-28 カリウムイオンSiO_2エレクトレット膜の帯電特性(機能ナノデバイス及び関連技術) 橋口 原, 杉山 達彦, 芝田 泰, |
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| 抄録(和) | カリウムイオンをシリコン酸化膜の中に混入させ帯電膜とする新しいエレクトレット膜形成方法を開発した。シリコンを水蒸気酸化する際に、キャリアガスで水酸化カリウム水溶液をバブリングして酸化炉内に導入する。酸化後に700℃程度の高温で電圧を印加することで印加した電圧とほぼ等しい帯電膜を得るが、本講演では静電型アクチュエータによる帯電のその場観察と帯電電圧測定、帯電電圧の経時変化などについて報告する。 |
| 抄録(英) | We have developed a new fabrication method of electret made of SiO2 film. In this method, KOH solution is bubbled by career gas of oxidation, resuilting in incorporation of Potassium ions in SiO2 film simultaneously. Electret voltage is then given by applying voltage at arround 700℃. This paper describes in-situ monitoring of the charging process and charging voltage measurement using an electrostatic actuator. Time degradation measurement of the electret film is also presented using a comb-drive actuator. |
| キーワード(和) | エレクトレット / カリウムイオン / 静電型アクチュエータ / MEMS |
| キーワード(英) | Electret / Potassium ion / Electrostatic actuator / MEMS |
| 資料番号 | ED2013-145,SDM2013-160 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2014/2/20(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | カリウムイオンSiO_2エレクトレット膜の帯電特性(機能ナノデバイス及び関連技術) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Charging properties of potassium ion SiO2 electret film |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | エレクトレット / Electret |
| キーワード(2)（和/英） | カリウムイオン / Potassium ion |
| キーワード(3)（和/英） | 静電型アクチュエータ / Electrostatic actuator |
| キーワード(4)（和/英） | MEMS / MEMS |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 橋口 原 / Gen HASHIGUCHI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学大学院工学研究科 Department of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 杉山 達彦 / Tatsuhiko SUGIYAMA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学大学院工学研究科 Department of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 芝田 泰 / Yasushi SHIBATA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 静岡大学大学院工学研究科 Department of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 発表年月日 | 2014-02-28 |
| 資料番号 | ED2013-145,SDM2013-160 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | 449 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |