| 講演名 | 2014-01-24 プロトンビーム描画による導波路型光スイッチの試作(光-無線融合NW、新周波数(波長)帯デバイス、フォトニックNW・デバイス、フォトニック結晶、ファイバとその応用、光集積回路、光導波路素子、光スイッチング、導波路解析、一般) 三浦 健太, 佐藤 隆博, 石井 保行, 江夏 昌志, 横山 彰人, 神谷 富裕, 平谷 雄二, 桐生 弘武, 小澤 優介, 加田 渉, 花泉 修, |
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| 抄録(和) | 量子ビーム技術を利用したプロトンビーム描画(Proton Beam Writing:PBW)は,次世代微細加工技術として期待されているが,プロトン照射によるポリマー材料の屈折率向上効果を応用した光導波路直接描画技術としても有望である.我々は,このPBW技術を利用してマッハツェンダー導波路型熱光学スイッチの試作を行い,スイッチング動作を確認したので報告する. |
| 抄録(英) | We demonstrated a PMMA-based thermo-optic switch consisting of a Mach-Zehnder (MZ) type waveguide drawn by proton beam writing (PBW) and working at λ=1.55μm. The MZ waveguide was drawn by symmetrically coupling two Y junctions with a core width of 8μm and a branching angle of 2°. A Ti thin-film heater and Al electrodes were formed on the surface of the MZ waveguide using conventional photolithography and wet-etching processes. An ON/OFF ratio of 9.0dB and a switching power of 43.9mW were obtained from the sample. |
| キーワード(和) | プロトンビーム描画 / PMMA / マッハツェンダー形導波路 / 光スイッチ |
| キーワード(英) | Proton Beam Writing / PMMA / Mach-Zehnder Waveguide / Optical Switch |
| 資料番号 | PN2013-85,OPE2013-199,LQE2013-185,EST2013-134,MWP2013-105 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE |
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| 開催期間 | 2014/1/16(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optoelectronics (OPE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | プロトンビーム描画による導波路型光スイッチの試作(光-無線融合NW、新周波数(波長)帯デバイス、フォトニックNW・デバイス、フォトニック結晶、ファイバとその応用、光集積回路、光導波路素子、光スイッチング、導波路解析、一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of Mach-Zehnder Type Thermo-Optic Switch Using Proton Beam Writing |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | プロトンビーム描画 / Proton Beam Writing |
| キーワード(2)（和/英） | PMMA / PMMA |
| キーワード(3)（和/英） | マッハツェンダー形導波路 / Mach-Zehnder Waveguide |
| キーワード(4)（和/英） | 光スイッチ / Optical Switch |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 三浦 健太 / Kenta MIURA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 群馬大学理工学研究院 Faculty of Science and Technology, Gunma University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 佐藤 隆博 / Takahiro SATOH |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構高崎量子応用研究所 Takasaki Advanced Radiation Research Institute, JAEA |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 石井 保行 / Yasuyuki ISHII |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構高崎量子応用研究所 Takasaki Advanced Radiation Research Institute, JAEA |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 江夏 昌志 / Masashi KOHKA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構高崎量子応用研究所 Takasaki Advanced Radiation Research Institute, JAEA |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 横山 彰人 / Akihito YOKOYAMA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構高崎量子応用研究所 Takasaki Advanced Radiation Research Institute, JAEA |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 神谷 富裕 / Tomihiro KAMIYA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 日本原子力研究開発機構高崎量子応用研究所 Takasaki Advanced Radiation Research Institute, JAEA |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 平谷 雄二 / Yuji HIRATANI |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 広島国際大学工学部 Faculty of Engineering, Hiroshima International University |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 桐生 弘武 / Hiromu KIRYU |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 群馬大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Gunma University |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 小澤 優介 / Yusuke OZAWA |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 群馬大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Gunma University |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | 加田 渉 / Wataru KADA |
| 第 10 著者 所属（和/英） | 群馬大学理工学研究院 Faculty of Science and Technology, Gunma University |
| 第 11 著者 氏名（和/英） | 花泉 修 / Osamu HANAIZUMI |
| 第 11 著者 所属（和/英） | 群馬大学理工学研究院 Faculty of Science and Technology, Gunma University |
| 発表年月日 | 2014-01-24 |
| 資料番号 | PN2013-85,OPE2013-199,LQE2013-185,EST2013-134,MWP2013-105 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | 394 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
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