| 講演名 | 2013-10-24 アルコールを原料とした熱CVD法によるCNTの作製(簿膜プロセス・材料,一般) 久保 直希, 山田 渓介, 山上 朋彦, 上村 喜一, |
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| 抄録(和) | カーボンナノチューブ(CNT)は、その機械的、熱的および化学的性質に起因して多くの分野で研究されている。真空ナノエレクトロニクス分野では、CNTは高アスペクト比を得ることができ、高い電界集中効果から電界放出源として広く研究されており、電界放出型ディスプレイ(FED)や走査型電子顕微鏡(SEM)などへの応用が期待されている。そこで本研究では、電界放出源への応用を目指してアルコールを用いたCVD法によってCNTを作製した。その結果、触媒であるNiの膜厚が30～100μmへと増えることにより、炭素薄膜の膜厚が増えることが確認できた。2μm程度の膜厚が確認でき、電流放出密度は最大で30μA/cm^2、閾値電界は最小で1.5V/μm得られた。また、この時の電界増幅係数βは5546であった。 |
| 抄録(英) | Carbon nanotubes (CNTs) are studied in many fields due to their mechanical, thermal and chemical properties. In vacuum nanoelectronics, CNTs are widely studied as a source of field emission from a high electric field concentration effects can be obtained for a high aspect ratio. Therefore, fabrication of CNTs by CVD method is expected to improve the field emission characteristics. As the result, the thickness of the carbon was about 2μm, and many fibrous carbons were observed. The maximum current density was about 30μA/cm^2, and the minimum threshold electric field was about 1.5V/μm. |
| キーワード(和) | カーボン / アルコール / 化学気相成長 / 電界電子放出 |
| キーワード(英) | Carbon / Alcohol / CVD / field emission |
| 資料番号 | CPM2013-98 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2013/10/17(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | アルコールを原料とした熱CVD法によるCNTの作製(簿膜プロセス・材料,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of Carbon Nanotubes by Thermal Chemical Vapor Deposition Using Alcohol as Carbon Source |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | カーボン / Carbon |
| キーワード(2)（和/英） | アルコール / Alcohol |
| キーワード(3)（和/英） | 化学気相成長 / CVD |
| キーワード(4)（和/英） | 電界電子放出 / field emission |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 久保 直希 / Naoki KUBO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Department of Electrical and Electronic Engineering,Shinshu University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 山田 渓介 / Keisuke YAMADA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | / / / / |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 山上 朋彦 / Tomohiko YAMAKAMI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 上村 喜一 / Kiichi KAMIMURA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | |
| 発表年月日 | 2013-10-24 |
| 資料番号 | CPM2013-98 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | 268 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |