| 講演名 | 2013-06-18 酸化剤分圧およびSi拡散の制御によるPr酸化膜結晶構造制御(高誘電率膜,界面制御,メモリ技術,ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術) 加藤 公彦, 坂下 満男, 竹内 和歌奈, 田岡 紀之, 中塚 理, 財満 鎭明, |
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| 抄録(和) | Higher-kゲート絶縁膜として着目される六方晶Pr酸化膜の実現に向け,Pr酸化膜形成時のH_2O分圧(P_ |
| 抄録(英) | For realization of hexagonal Pr_2O_3 thin film as higher-k gate dielectrics, we have investigated the effect of H_2O partial pressure (P_ |
| キーワード(和) | Pr酸化膜 / 結晶構造 / H_2O分圧 / Si拡散 |
| キーワード(英) | Pr-oxide / crystalline structure / H_2O partial pressure / Si diffusion |
| 資料番号 | SDM2013-44 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2013/6/11(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 酸化剤分圧およびSi拡散の制御によるPr酸化膜結晶構造制御(高誘電率膜,界面制御,メモリ技術,ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Control of Pr-Oxide Crystalline Phase by Regulating Oxidant Partial Pressure and Si Diffusion |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | Pr酸化膜 / Pr-oxide |
| キーワード(2)（和/英） | 結晶構造 / crystalline structure |
| キーワード(3)（和/英） | H_2O分圧 / H_2O partial pressure |
| キーワード(4)（和/英） | Si拡散 / Si diffusion |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 加藤 公彦 / Kimihiko KATO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 名古屋大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Nagoya University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 坂下 満男 / Mitsuo SAKASHITA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 名古屋大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Nagoya University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 竹内 和歌奈 / Wakana TAKEUCHI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 名古屋大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Nagoya University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 田岡 紀之 / Noriyuki TAOKA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 名古屋大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Nagoya University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 中塚 理 / Osamu NAKATSUKA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 名古屋大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Nagoya University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 財満 鎭明 / Shigeaki ZAIMA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 名古屋大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Nagoya University |
| 発表年月日 | 2013-06-18 |
| 資料番号 | SDM2013-44 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | 87 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |