講演名 | 2013-07-12 L1_0型規則構造を持つ強磁性合金薄膜の表面平坦性制御(固体メモリ・媒体,一般) 板橋 明, 大竹 充, 桐野 文良, 二本 正昭, |
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抄録(和) | L1_0構造を持つエピタキシャルFePd,FePt,および,CoPt合金薄膜を超高真空RFマグネトロンスパッタリング法によりMgO,SrTiO_3,LaAlO_3の(001)単結晶基板上に形成した.c軸方向と膜表面平坦性の制御を試みた.MgOとSrTiO_3基板上に形成したFePd膜はc軸が面直に向いたL1_0(001)単結晶膜であるのに対し,LaAlO_3基板上に形成したFePd膜およびいずれの基板上に形成したFePtとCoPt膜では,L1_0(001)結晶に加え,c軸が面内に存在する2種類のL1_0(100)結晶が形成された.膜と基板材料の組み合わせを選ぶことにより,c軸方向を面直にすることができることが示された.また,CoPt |
抄録(英) | FePd, FePt, and CoPt alloy epitaxial thin films with L1_0 structure are prepared on (001) single-crystal substrates of MgO, SrTiO_3, and LaAlO_3 by using an ultra-high vacuum radio-frequency magnetron sputtering system. The c-axis destitution and the film surface flatness are controlled. FePd films formed on MgO and SrTiO_3 substrates consist of L1_0(001) single-crystal with the c-axis normal to the film surface, whereas an FePd film formed on LaAlO_3 substrate and FePt and CoPt films formed on all the substrates involve two types of L1_0(100) crystal with the c-axis lying in the film plane in addition to L1_0(001) crystal. The c-axis distribution is influenced by the combination of film and substrate materials. Higher order degrees are observed in the film material order of CoPt |
キーワード(和) | FePd / FePt / CoPt / 薄膜 / L1_0構造 / 表面平坦性 / エピタキシャル成長 / 単結晶基板 |
キーワード(英) | FePd / FePt / CoPt / thin film / L1_0 structure / surface flatness / epitaxial growth / single-crystal substrate |
資料番号 | MR2013-7 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | MR |
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開催期間 | 2013/7/5(から1日開催) |
開催地(和) | |
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幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Magnetic Recording (MR) |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | L1_0型規則構造を持つ強磁性合金薄膜の表面平坦性制御(固体メモリ・媒体,一般) |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Surface Flatness Control of Ferromagnetic Alloy Thin Films with L1_0 Ordered Structure |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | FePd / FePd |
キーワード(2)(和/英) | FePt / FePt |
キーワード(3)(和/英) | CoPt / CoPt |
キーワード(4)(和/英) | 薄膜 / thin film |
キーワード(5)(和/英) | L1_0構造 / L1_0 structure |
キーワード(6)(和/英) | 表面平坦性 / surface flatness |
キーワード(7)(和/英) | エピタキシャル成長 / epitaxial growth |
キーワード(8)(和/英) | 単結晶基板 / single-crystal substrate |
第 1 著者 氏名(和/英) | 板橋 明 / Akira ITABASHI |
第 1 著者 所属(和/英) | 中央大学理工学部 Faculty of Science and Engineering, Chuo University |
第 2 著者 氏名(和/英) | 大竹 充 / Mitsuru OHTAKE |
第 2 著者 所属(和/英) | 中央大学理工学部 Faculty of Science and Engineering, Chuo University |
第 3 著者 氏名(和/英) | 桐野 文良 / Fumiyoshi KIRINO |
第 3 著者 所属(和/英) | 東京藝術大学大学院美術研究科 Graduate School of Fine Arts, Tokyo University of the Arts |
第 4 著者 氏名(和/英) | 二本 正昭 / Masaaki FUTAMOTO |
第 4 著者 所属(和/英) | 中央大学理工学部 Faculty of Science and Engineering, Chuo University |
発表年月日 | 2013-07-12 |
資料番号 | MR2013-7 |
巻番号(vol) | vol.113 |
号番号(no) | 127 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 6 |
発行日 |