| 講演名 | 2013-07-18 微細構造の実効誘電率計算のための静電界解析(マイクロ波フォトニクス技術,一般) 平野 拓一, 広川 二郎, 安藤 真, |
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| 抄録(和) | 著者らは、CMOSチップで必須となるダミーメタルの影響評価を行い、等価媒質定数を求める手法を提案してきた。等価媒質定数の抽出手法として過去に次の2つの手法(1)1周期構造を考え、伝搬固有モードを電磁界解析して、伝搬定数と特性インピーダンスから抽出する方法、(2)1周期構造を考え、キャパシタモデル、インダクタモデルの電磁界解析よりキャパシタンスとインダクタンスから等価媒質定数を抽出する方法を提案している。本稿ではこれらの結果のさらなる検証のために、波長に比して微細な構造の実効誘電率を計算する。解析手法としては1周期の構造について静電界解析(ラプラスの方程式)を解き、キャパシタンスを計算する手法について検討した。実効誘電率は過去に提案した手法で計算した値とよく一致した。 |
| 抄録(英) | The authors have proposed evaluation technique of effective material property for dummy metal fills, which is inevitable to use in CMOS process. The proposed methods were (1) method that analyze eigenmode of a unit-cell by assuming wave propagation problem, and (2) method that assume capacitor and inductor model for a unit-cell to extract effective material property. This report presents electrostatic analysis of effective permittivity for dummy metal fills used in CMOS chips in order to verify the proposed methods in the past and to propose quick evaluation method. The effective permittivity agreed very well with those calculated by proposed methods in the past. |
| キーワード(和) | 微細構造 / ダミーメタルフィル / CMOS / 静電界解析 / 実効誘電率 / ラプラスの方程式 / 抽出 |
| キーワード(英) | Microstructure / Dummy metal fills / CMOS / Electrostatic analysis / Effective permittivity / Laplace equation / Extraction |
| 資料番号 | MW2013-50,OPE2013-19,EST2013-14,MWP2013-9 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EST |
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| 開催期間 | 2013/7/11(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electronic Simulation Technology (EST) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 微細構造の実効誘電率計算のための静電界解析(マイクロ波フォトニクス技術,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Electrostatic Analysis of Effective Permittivity for Microstructure |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 微細構造 / Microstructure |
| キーワード(2)（和/英） | ダミーメタルフィル / Dummy metal fills |
| キーワード(3)（和/英） | CMOS / CMOS |
| キーワード(4)（和/英） | 静電界解析 / Electrostatic analysis |
| キーワード(5)（和/英） | 実効誘電率 / Effective permittivity |
| キーワード(6)（和/英） | ラプラスの方程式 / Laplace equation |
| キーワード(7)（和/英） | 抽出 / Extraction |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 平野 拓一 / Takuichi HIRANO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京工業大学理工学研究科 Graduate School of Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 広川 二郎 / Jiro HIROKAWA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京工業大学理工学研究科 Graduate School of Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 安藤 真 / Makoto ANDO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京工業大学理工学研究科 Graduate School of Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2013-07-18 |
| 資料番号 | MW2013-50,OPE2013-19,EST2013-14,MWP2013-9 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | 143 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |