| 講演名 | 2013-04-11 低熱伝導のナノ結晶材料を用いた低電力相変化デバイス(メモリ(DRAM,SRAM,フラッシュ,新規メモリ)技術) 森川 貴博, 秋田 憲一, 大柳 孝純, 北村 匡史, 木下 勝治, 田井 光春, 高浦 則克, |
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| 抄録(和) | 高い電気抵抗率と低い熱伝導率を有するナノ結晶相変化材料を開発し、リセット動作電流がGe_2Sb_2Te_5に比べて68%低減できる事を実証した。繰り返し書換え耐性は10^7回以上であり、結晶化温度が215℃にまで向上することを確認した。本研究の新規ナノ結晶相変化材料は、相変化デバイスの低電力化・大容量化を実現する有望な材料である。 |
| 抄録(英) | A new phase change memory of 68% lower reset current is demonstrated using nano-crystalline doped-Ge_2Sb_2Te_5 with high electrical resistivity and low thermal conductivity. Endurance of>1×10^7 cycles and enhanced crystallization temperature (～ 215℃) are also achieved. Nano-crystalline GST makes it possible to design low-power and high-density phase change memory. |
| キーワード(和) | 相変化デバイス / ドーピング / 結晶構造 / 熱伝導 |
| キーワード(英) | phase change memory / doping / crystal structure / thermal conductivity |
| 資料番号 | ICD2013-1 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
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| 開催期間 | 2013/4/4(から1日開催) |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Integrated Circuits and Devices (ICD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 低熱伝導のナノ結晶材料を用いた低電力相変化デバイス(メモリ(DRAM,SRAM,フラッシュ,新規メモリ)技術) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A Low Power Phase Change Memory Using Low Thermal Conductive Materials with Nano-Crystalline Structure |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 相変化デバイス / phase change memory |
| キーワード(2)（和/英） | ドーピング / doping |
| キーワード(3)（和/英） | 結晶構造 / crystal structure |
| キーワード(4)（和/英） | 熱伝導 / thermal conductivity |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 森川 貴博 / Takahiro MORIKAWA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 超低電圧デバイス技術研究組合 Low-power Electronics Association & Project |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 秋田 憲一 / Ken'ichi AKITA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 超低電圧デバイス技術研究組合 Low-power Electronics Association & Project |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 大柳 孝純 / Takasumi OHYANAGI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 超低電圧デバイス技術研究組合 Low-power Electronics Association & Project |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 北村 匡史 / Masahito KITAMURA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 超低電圧デバイス技術研究組合 Low-power Electronics Association & Project |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 木下 勝治 / Masaharu KINOSHITA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 超低電圧デバイス技術研究組合 Low-power Electronics Association & Project |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 田井 光春 / Mitsuharu TAI |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 超低電圧デバイス技術研究組合 Low-power Electronics Association & Project |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 高浦 則克 / Norikatsu TAKAURA |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 超低電圧デバイス技術研究組合 Low-power Electronics Association & Project |
| 発表年月日 | 2013-04-11 |
| 資料番号 | ICD2013-1 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | 1 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |