| 講演名 | 2013-04-19 スパイラル共振器を用いたマイクロ波力学インダクタンス検出器アレイの設計と評価(マイクロ波超伝導,マイクロ波一般) 林 賢人, 齊藤 敦, 小川 裕平, 村田 光茂, 田中 希, 澤田 俊宏, 中島 健介, 山田 博信, 有吉 誠一郎, 田井野 徹, 田之上 寛之, 大谷 知行, 大嶋 重利, |
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| 抄録(和) | 対称スパイラル共振器を用いたマイクロ波力学インダクタンス検出器(Microwave Kinetic Inductance Detectors: MKIDs)アレイの設計を行った。電磁界シミュレーションにより,無負荷Q値2×10^5,最大減衰量30dBの半波長共振器が得られた。DCマグネトロンスパッタリング法によりm面サファイア基板上に成膜したNbN薄膜を用いて9素子アレイMKIDsを作製した。マイクロ波特性はベクトルネットワークアナライザにより測定し,4.7GHz近傍において9素子に対応した半波長共振が確認された。 |
| 抄録(英) | We designed and fabricated microwave kinetic inductance detectors (MKIDs) using niobium nitride (NbN) symmetric spiral resonator array. The total length of resonator was adjusted to the effective guided half-wavelength for each resonator keeping the symmetric structure. We conducted simulations for 9-arrays assuming an NbN as the superconducting material and sapphire as the dielectric substrate and obtained maximum attenuation of over 30dB and unloaded quality factors of over 2x10^5. We fabricated 9-arrays MKIDs using the NbN thin film deposited on the m-sapphire substrate by using dc magnetron sputtering. The microwave response passing through MKIDs and a low-noise amplifier was measured using a vector network analyzer. We observed 9 half-wavelength resonances around 4.7GHz. |
| キーワード(和) | MKIDs / 対称スパイラル共振器 |
| キーワード(英) | MKIDs / Symmetric spiral resonator |
| 資料番号 | SCE2013-8,MW2013-8 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
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| 開催期間 | 2013/4/12(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | スパイラル共振器を用いたマイクロ波力学インダクタンス検出器アレイの設計と評価(マイクロ波超伝導,マイクロ波一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Design and Evaluation of Microwave Kinetic Inductance Detectors using Spiral Resonator Array |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | MKIDs / MKIDs |
| キーワード(2)（和/英） | 対称スパイラル共振器 / Symmetric spiral resonator |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 林 賢人 / Kento HAYASHI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 山形大学大学院理工学研究科 Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 齊藤 敦 / Atsushi SAITO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 山形大学大学院理工学研究科 Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 小川 裕平 / Yuhei OGAWA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 山形大学大学院理工学研究科 Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 村田 光茂 / Mitsushige MURATA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 山形大学大学院理工学研究科 Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 田中 希 / Nozomu TANAKA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 山形大学大学院理工学研究科 Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 澤田 俊宏 / Toshihiro SAWADA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 山形大学大学院理工学研究科 Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 中島 健介 / Kensuke NAKAJIMA |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 山形大学大学院理工学研究科 Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 山田 博信 / Hironobu YAMADA |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 山形大学大学院理工学研究科 Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 有吉 誠一郎 / Seiichiro ARIYOSHI |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 名古屋工業大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Nagoya Institute of Technology |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | 田井野 徹 / Tohru TAINO |
| 第 10 著者 所属（和/英） | 埼玉大学大学院理工学研究科 Graduate School of Science and Engineering, Saitama University |
| 第 11 著者 氏名（和/英） | 田之上 寛之 / Hiroyuki TANOUE |
| 第 11 著者 所属（和/英） | 埼玉大学大学院理工学研究科 Graduate School of Science and Engineering, Saitama University |
| 第 12 著者 氏名（和/英） | 大谷 知行 / Chiko OTANI |
| 第 12 著者 所属（和/英） | 理化学研究所テラヘルツイメージング研究チーム Terahertz-wave Research Group, RIKEN |
| 第 13 著者 氏名（和/英） | 大嶋 重利 / Shigetoshi OHSHIMA |
| 第 13 著者 所属（和/英） | 山形大学大学院理工学研究科 Graduate School of Science and Engineering, Yamagata University |
| 発表年月日 | 2013-04-19 |
| 資料番号 | SCE2013-8,MW2013-8 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | 11 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
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