| 講演名 | 2013-01-25 全有機自己整合トランジスタ(発光型/非発光型ディスプレイ) 村本 龍法, 中 茂樹, 岡田 裕之, |
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| 抄録(和) | 背面露光法を用いた全有機自己整合トランジスタの検討を行った.ゲート電極をマスクとし,ソースドレイン電極に半透過性の銀ナノ粒子膜を使用することでリフトオフ無しで自己整合化を行った.銀ナノ粒子膜の透過率から,膜厚400Aで20%の透過率を得た.背面露光の時間を変化させることで,フォトレジストのオーバーラップ量が増加し,その最適化で,ゲート電極に対しソースドレイン電極がオーバーラップする構造が作製できた.そのオーバーラップ量は2μmと見積られた.得られたトランジスタ特性は,各々,チャネル長,チャネル幅が,10,1,500μmで,移動度0.012cm^2/Vs,しきい電圧12V,オンオフ比1.5×10^3を得た. |
| 抄録(英) | All-organic self-aligned field-effect transistors using the back-surface exposure method were investigated. For device fabrication, where, gate electrode as a photomask, source and drain electrodes of thin silver nanoparticle was patterned and self-alignment structure was fabricated. Obtained transmittance of 20% at film thickness of 400 A for silver nanoparticle. Overlap of gate and pattern of photoresist was increased with the back-surface exposure time and obtained overlap length of the gate-source and -drain electrodes was 2 gm. For device characteristics, transistor operation of evaluated field effect mobility, threshold and on-off ratio were 0.012cm^2/Vs, 12V, and 1.5×10^3, respectively, were obtained. |
| キーワード(和) | 有機トランジスタ / ペンタセン / 自己整合 / 溶液プロセス |
| キーワード(英) | Organic FET / Pentacene / Self-alignment / Solution-process |
| 資料番号 | EID2012-23 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EID |
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| 開催期間 | 2013/1/17(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electronic Information Displays (EID) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 全有機自己整合トランジスタ(発光型/非発光型ディスプレイ) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | All-Organic Self-Aligned Field-Effect Transistors |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 有機トランジスタ / Organic FET |
| キーワード(2)（和/英） | ペンタセン / Pentacene |
| キーワード(3)（和/英） | 自己整合 / Self-alignment |
| キーワード(4)（和/英） | 溶液プロセス / Solution-process |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 村本 龍法 / Tatsunori MURAMOTO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 富山大学大学院理工学教育部 Graduate School of Science and Engineering for Research |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 中 茂樹 / Shigeki NAKA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 富山大学大学院理工学教育部 Graduate School of Science and Engineering for Research |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 岡田 裕之 / Hiroyuki OKADA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 富山大学大学院理工学教育部:富山大学自然科学研究支援センター Graduate School of Science and Engineering for Research:Center for Research and Development in Natural Sciences |
| 発表年月日 | 2013-01-25 |
| 資料番号 | EID2012-23 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | 409 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |