| 講演名 | 2013-03-05 局所領域における静電気の制御に関する研究 : 静電気力顕微鏡を用いた帯電の観測(バイオ,エレクトロニクス,材料,界面,その場観察,その他一般) 菊永 和也, 野中 一洋, |
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| 抄録(和) | 静電気は生産プロセスにおいてコンタミネーションや静電気放電など様々な問題の原因となっており,特に微小スケールにおいてその影響は大きくなる.このような帯電現象はすべての材料において発生するため,その制御は極めて重要である.本研究では,μmオーダーの局所領域で,接触,剥離,電子ビームを用いた静電気制御の試みについて報告する. |
| 抄録(英) | Static electricity is the cause of various problems, such as contamination and electrostatic discharge in the production process, and the influence is greater in microscopic area. The control of charge is very important because the electrification occurs in all materials. In this study, we report on the attempt of controlling electrostatics in the local area using the physical contact, the discharge during separation process and the electron beam. |
| キーワード(和) | 静電気 / 表面 / 静電気力顕微鏡 / 制御 |
| キーワード(英) | static electricity / surface / electrostatic force microscopy / control |
| 資料番号 | OME2012-101 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2013/2/26(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 局所領域における静電気の制御に関する研究 : 静電気力顕微鏡を用いた帯電の観測(バイオ,エレクトロニクス,材料,界面,その場観察,その他一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Study on control of static electricity in the local area : Observation of charge using electrostatic force microscopy |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 静電気 / static electricity |
| キーワード(2)（和/英） | 表面 / surface |
| キーワード(3)（和/英） | 静電気力顕微鏡 / electrostatic force microscopy |
| キーワード(4)（和/英） | 制御 / control |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 菊永 和也 / Kazuya KIKUNAGA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所生産計測技術研究センター Measurement Solution Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 野中 一洋 / Kazuhiro NONAKA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所生産計測技術研究センター Measurement Solution Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology |
| 発表年月日 | 2013-03-05 |
| 資料番号 | OME2012-101 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | 456 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |