講演名 2013-03-08
(100)立方晶単結晶基板上にエピタキシャル成長した3d強磁性遷移金属薄膜の構造解析(光記録,一般)
大竹 充, 二本 正昭,
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抄録(和) 3d強磁性遷移金属(Fe,Co,Ni)およびこれらの合金の薄膜をMgO,SrTiO_3,および,GaAsの(100)単結晶基板上に形成し,RHEED,XRD,および,TEMにより成長機構および構造を調べた.いずれの基板上においても,bcc構造を持つFe,Fe_<65>Co_<35>,Fe_<50>Co_<50>,Fe_<80>Ni_<20> (at.%)膜が形成された.MgO基板上に300℃より高温でエピタキシャル成長したCo膜は,hep構造を持ち,(1120)が基板面と平行に配向した双晶から構成された.一方,100℃で形成したエピタキシャル膜は,hcp(1120)結晶に加え,fcc(100)結晶を含む混合結晶から構成された.MgO基板上に形成したCo_<80>Ni_<20>膜では,成長温度に関わらず,hcp(1120)およびfcc(100)の複合結晶が形成された. NiおよびNi_<80>Fe_<20>膜においても,fcc(100)結晶に加え,準安定なhcp(1120)結晶が形成された.膜厚の増加に伴い,hcp-Niおよびhcp-Ni_<80>Fe_<20>結晶は(0001)最密充填面のすべりにより安定なfcc(110)結晶に変態する傾向が認められた. SrTiO_3基板上にエピタキシャル成長したCo,Co_<80>Ni_<20>,Ni,および,Ni_<80>Fe_<20>膜はfee構造を持った.GaAs基板上におけるCo,Ni,および,Ni_<80>Fe_<20>膜の成長初期段階においては,準安定なbcc結晶がヘテロエピタキシャル成長により安定化された.しかしながら,膜厚の増加に伴い,準安定bcc結晶も{110}最密充填面のすべりにより安定なfcc結晶に変態した.MgO基板上にエピタキシャル成長した膜の歪は,格子ミスマッチが3~17%と大きいにも関わらず,非常に小さいことがXRD解析により示された.ミスマッチを低減させるために,膜と基板の界面付近の膜中において,多くのミスフィット転位が導入されることが高分解能断面TEM観察により分かった.
抄録(英) Thin films of 3d ferromagnetic transition metals (Fe, Co, and Ni)and teir alloys are prepared on MgO, SrTiO_3,and GaAs single-crystal substrates of (100)orientation. The growth behavior and the structure are investigated by RHEED, XRD, and HR-TEM. Fe, Fe_<65>Co_<35>,Fe_<50>Co_<50>,and Fe_<80>Ni_<20> (at %)films with bcc structure are formed on all the substrates. Co films epitaxially grown on MgO substrates at temperatures higher than 300℃ consist of hcp(1120)bi-crystals, whereas a Co epitaxial film deposited at 100℃ involves an fcc(100)crystal in addition to hcp(1120)crystals. Co_<80>Ni_<20> films grown on MgO substrates consist of a mixture of hcp(1120)and fcc(100)crystals regardless of growth temperature. Ni and Ni_<80>Fe_<20> films grown on MgO substrates include not only fcc(100)but also hcp(1120)crystals which are metastable and stabilized through hetero-epitaxial growth. As the film thickness increases, the Ni and the Ni_<80>Fe_<20> crystals of hcp(1120)orientation tend to transform into more stable fee crystals of (110)orientation by atomic displacement parallel to the hcp(0001)close-packed plane. Co, Co_<80>Ni_<20>,Ni, and Ni_<80>Fe_<20> films with fee strueture grow epitaxially on SrTiO_3 substrates. Metastable bcc crystals nucleate i early stages of Co, Ni, and Ni_<80>Fe_<20> film growth on GaAs substrates. With increasing the thickness, the metastable bcc structure starts to transform into fee strueture through atomic displacement parallel to the bcc{110} close-packed planes. XRD indicates that the strains in films epitaxially grown on MgO substrates are very small though the lattice mismatches are as large as 3-17%. Cross-sectional HR-TEM shows that a lot of misfit dislocations are introduced in the films around film/substrate interfaces to reduce the mismatches.
キーワード(和) Fe / Co / Ni / Fe-Co / Co-Ni / Ni-Co / 薄膜 / エピタキシャル成長 / 結晶構造 / 安定相 / 準安定相
キーワード(英) Fe / Co / Ni / Fe-Co / Co-Ni / Ni-Fe / thin film / epitaxial growth / crystal structure / stable phase / metastable phase
資料番号 MR2012-51
発行日

研究会情報
研究会 MR
開催期間 2013/3/1(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Magnetic Recording (MR)
本文の言語 JPN
タイトル(和) (100)立方晶単結晶基板上にエピタキシャル成長した3d強磁性遷移金属薄膜の構造解析(光記録,一般)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Structural Characterization of 3d Ferromagnetic Transition Metal Thin Films Epitaxially Grown on (100)-Oriented Cubic Single-Crystal Substrates
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) Fe / Fe
キーワード(2)(和/英) Co / Co
キーワード(3)(和/英) Ni / Ni
キーワード(4)(和/英) Fe-Co / Fe-Co
キーワード(5)(和/英) Co-Ni / Co-Ni
キーワード(6)(和/英) Ni-Co / Ni-Fe
キーワード(7)(和/英) 薄膜 / thin film
キーワード(8)(和/英) エピタキシャル成長 / epitaxial growth
キーワード(9)(和/英) 結晶構造 / crystal structure
キーワード(10)(和/英) 安定相 / stable phase
キーワード(11)(和/英) 準安定相 / metastable phase
第 1 著者 氏名(和/英) 大竹 充 / Mitsuru OHTAKE
第 1 著者 所属(和/英) 中央大学理工学部
Faculty of Science and Engineering, Chuo University
第 2 著者 氏名(和/英) 二本 正昭 / Masaaki FUTAMOTO
第 2 著者 所属(和/英) 中央大学理工学部
Faculty of Science and Engineering, Chuo University
発表年月日 2013-03-08
資料番号 MR2012-51
巻番号(vol) vol.112
号番号(no) 452
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日