| 講演名 | 2012-12-18 ED2012-101 LiNbO3導波路を用いたチェレンコフ位相整合型テラヘルツ光源開発とその応用(ミリ波・テラヘルツ波デバイス・システム) 塩田 和教, 小野 茂, 入澤 昭好, 今村 元規, |
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| 抄録(和) | 非線形光学結晶であるニオブ酸リチウム(LiNbO3,LN)の光整流効果を利用した,新構造のチェレンコフ位相整合型テラヘルツ光源モジュールを開発した.LNに形成した導波路上に半円錐型のシリコンプリズムを配置してテラヘルツ波を外部に取り出す構造であり,ファイバレーザ励起によるテラヘルツ波発生を可能にした.本モジュールを搭載したテラヘルツ光サンプリングシステムを構築し,広帯域(-7THz)・短パルス(146fs)化に成功した.この広帯域性と短パルス性が分光,イメージング解析に与える効果を評価した.分光応用では,アスコルビン酸の定量性を評価し,光伝導アンテナをテラヘルツ波発生素子に用いた従来システムに対し4倍近い高感度化が得られた.また,THz-TOFによるイメージング応用では,シリコン薄膜サンプルの膜厚を評価し,厚さ10μmまでの膜厚測定が可能であること明らかにした. |
| 抄録(英) | We demonstrate the development of a new type Cherenkov phase-matched terahertz source module using LiNbO3 waveguide attached a half-conic silicon prism, which efficiently generates broadband terahertz waves in the frequency range up to 7 THz with short pulse duration of 146 fs. We show quantitative evaluation of ascorbic acid with four times higher sensitivity than conventional photoconductive antenna by building up a terahertz-optical sampling system using our module. Terahertz time-of-flight tomographic imaging is also demonstrated to evaluate thin film thickness of silicon-on-insulator samples, which enables the measurement of 10 μm film thickness. These results indicate great potential for use in application of our module. |
| キーワード(和) | LiNbO3導波路 / チェレンコフ位相整合 / 半円錐型Siプリズム / テラヘルツ波発生 |
| キーワード(英) | LiNbO_3 waveguide / Cherenkov phase-matched / half-conic silicon lens / terahertz source |
| 資料番号 | ED2012-101 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2012/12/10(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ED2012-101 LiNbO3導波路を用いたチェレンコフ位相整合型テラヘルツ光源開発とその応用(ミリ波・テラヘルツ波デバイス・システム) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | ED2012-101 Development of a Cherenkov phase-matched terahertz source using a LiNbO_3 waveguide for THz spectroscopy and imaging. |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | LiNbO3導波路 / LiNbO_3 waveguide |
| キーワード(2)（和/英） | チェレンコフ位相整合 / Cherenkov phase-matched |
| キーワード(3)（和/英） | 半円錐型Siプリズム / half-conic silicon lens |
| キーワード(4)（和/英） | テラヘルツ波発生 / terahertz source |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 塩田 和教 / Kazunori SHIOTA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 株式会社アドバンテスト ADVANTEST CORPORATION |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 小野 茂 / Shigeru ONO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 株式会社アドバンテスト ADVANTEST CORPORATION |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 入澤 昭好 / Akiyoshi IRISAWA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 株式会社アドバンテスト ADVANTEST CORPORATION |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 今村 元規 / Motoki IMAMURA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 株式会社アドバンテスト ADVANTEST CORPORATION |
| 発表年月日 | 2012-12-18 |
| 資料番号 | ED2012-101 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | 364 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |