| 講演名 | 2012-11-30 サファイア基板上へのモスアイ構造の形成方法の検討およびLEDへの応用(窒化物及び混晶半導体デバイス,及び一般) 土屋 貴義, 梅田 慎也, 曽和 美保子, 近藤 俊行, 北野 司, 森 みどり, 鈴木 敦志, 難波江 宏一, 関根 均, 岩谷 素顕, 竹内 哲也, 上山 智, 赤崎 勇, |
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| 抄録(和) | LEDおいて高い光取り出し効率が期待されるモスアイ加工サファイア基板(Moth-eye patterned sapphire substrate;MPSS)を作製するため、サファイアに対して高いエッチング選択比を得るためのドライエッチング工程の検討を実施した。また、結晶成長に適したコーン形状に制御可能なドライエッチング条件の検討を行った。さらに周期を460nmに固定し、コーンの高さを250nm、300nm、350nmとしたMPSSを作製し、MPSS上の青色LEDの光取り出し効率の比較を行った。コーン高さによる光取り出し効率の依存性はほとんど見られず、いずれも未加工のサファイア基板と比較して約1.4倍に向上することがわかった。 |
| 抄録(英) | Fabrication processes of a moth-eye patterned sapphire substrate (MPSS), which can enhance a light extraction efficiency of nitride-based light emitting diodes (LEDs) have been examined. Optimization of structural parameters of MPSS for high-quality GaN growth was also performed. Then, we fabricated MPSS samples with a fixed pitch 460nm, and a height of corns of 250, 300 and 350nm. Light extraction efficiency of blue-LEDs growth on a series of MPSS was enhanced 1.4 times as compared with the devices grown on a flat sapphire substrate, while there is no dependence of height of corns on LED performance. |
| キーワード(和) | PSS / Moth-eye / UVナノインプリントリソグラフィー / ドライエッチング / LEDs |
| キーワード(英) | PSS / Moth-eye / UV-nanoimprinting technique / dry etching / LEDs |
| 資料番号 | ED2012-82,CPM2012-139,LQE2012-110 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2012/11/22(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | サファイア基板上へのモスアイ構造の形成方法の検討およびLEDへの応用(窒化物及び混晶半導体デバイス,及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of moth-eye patterned sapphire substrate (MPSS) and its application to LEDs |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | PSS / PSS |
| キーワード(2)（和/英） | Moth-eye / Moth-eye |
| キーワード(3)（和/英） | UVナノインプリントリソグラフィー / UV-nanoimprinting technique |
| キーワード(4)（和/英） | ドライエッチング / dry etching |
| キーワード(5)（和/英） | LEDs / LEDs |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 土屋 貴義 / Takayoshi Tsuchiya |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 名城大理工 Faculty of Science and Technology, Meijo University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 梅田 慎也 / Shinya Umeda |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 名城大理工 Faculty of Science and Technology, Meijo University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 曽和 美保子 / Mihoko Sowa |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 名城大理工 Faculty of Science and Technology, Meijo University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 近藤 俊行 / Toshiyuki Kondo |
| 第 4 著者 所属（和/英） | エルシード株式会社 EL-SEED, Corp. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 北野 司 / Tsukasa Kitano |
| 第 5 著者 所属（和/英） | エルシード株式会社 EL-SEED, Corp. |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 森 みどり / Midori Mori |
| 第 6 著者 所属（和/英） | エルシード株式会社 EL-SEED, Corp. |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 鈴木 敦志 / Atsushi Suzuki |
| 第 7 著者 所属（和/英） | エルシード株式会社 EL-SEED, Corp. |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 難波江 宏一 / Koichi Naniwae |
| 第 8 著者 所属（和/英） | エルシード株式会社 EL-SEED, Corp. |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 関根 均 / Hitoshi Sekine |
| 第 9 著者 所属（和/英） | DIC株式会社 DIC Corporation |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | 岩谷 素顕 / Motoaki Iwaya |
| 第 10 著者 所属（和/英） | 名城大理工 Faculty of Science and Technology, Meijo University |
| 第 11 著者 氏名（和/英） | 竹内 哲也 / Tetsuya Takeuchi |
| 第 11 著者 所属（和/英） | 名城大理工 Faculty of Science and Technology, Meijo University |
| 第 12 著者 氏名（和/英） | 上山 智 / Satoshi Kamiyama |
| 第 12 著者 所属（和/英） | 名城大理工 Faculty of Science and Technology, Meijo University:EL-SEED, Corp. |
| 第 13 著者 氏名（和/英） | 赤崎 勇 / Isamu Akasaki |
| 第 13 著者 所属（和/英） | 名城大理工 Faculty of Science and Technology, Meijo University |
| 発表年月日 | 2012-11-30 |
| 資料番号 | ED2012-82,CPM2012-139,LQE2012-110 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | 327 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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