講演名 2012-11-29
層状窒化ホウ素を剥離層とするGaN系デバイスの機械的転写法の開発(窒化物及び混晶半導体デバイス,及び一般)
小林 康之, 熊倉 一英, 赤坂 哲也, 山本 秀樹, 牧本 俊樹,
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抄録(和)
抄録(英)
キーワード(和) 窒化物半導体 / 六方晶窒化ホウ素 / 機械的転写
キーワード(英) Nitride Semiconductors / Hexagonal Boron Nitride / Mechanical Transfer
資料番号 ED2012-66,CPM2012-123,LQE2012-94
発行日

研究会情報
研究会 ED
開催期間 2012/11/22(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Electron Devices (ED)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 層状窒化ホウ素を剥離層とするGaN系デバイスの機械的転写法の開発(窒化物及び混晶半導体デバイス,及び一般)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Layered boron nitride as a release layer for mechanical transfer of GaN-based devices
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 窒化物半導体 / Nitride Semiconductors
キーワード(2)(和/英) 六方晶窒化ホウ素 / Hexagonal Boron Nitride
キーワード(3)(和/英) 機械的転写 / Mechanical Transfer
第 1 著者 氏名(和/英) 小林 康之 / Yasuyuki KOBAYASHI
第 1 著者 所属(和/英) 日本電信電話(株)NTT物性科学基礎研究所
NTT Basic Research Laboratories, NTT Corporation
第 2 著者 氏名(和/英) 熊倉 一英 / Kazuhide KUMAKURA
第 2 著者 所属(和/英) 日本電信電話(株)NTT物性科学基礎研究所
NTT Basic Research Laboratories, NTT Corporation
第 3 著者 氏名(和/英) 赤坂 哲也 / Tetsuya AKASAKA
第 3 著者 所属(和/英) 日本電信電話(株)NTT物性科学基礎研究所
NTT Basic Research Laboratories, NTT Corporation
第 4 著者 氏名(和/英) 山本 秀樹 / Hideki YAMAMOTO
第 4 著者 所属(和/英) 日本電信電話(株)NTT物性科学基礎研究所
NTT Basic Research Laboratories, NTT Corporation
第 5 著者 氏名(和/英) 牧本 俊樹 / Toshiki MAKIMOTO
第 5 著者 所属(和/英) 日本電信電話(株)NTT物性科学基礎研究所
NTT Basic Research Laboratories, NTT Corporation
発表年月日 2012-11-29
資料番号 ED2012-66,CPM2012-123,LQE2012-94
巻番号(vol) vol.112
号番号(no) 327
ページ範囲 pp.-
ページ数 1
発行日