講演名 | 2012-11-29 層状窒化ホウ素を剥離層とするGaN系デバイスの機械的転写法の開発(窒化物及び混晶半導体デバイス,及び一般) 小林 康之, 熊倉 一英, 赤坂 哲也, 山本 秀樹, 牧本 俊樹, |
---|---|
PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
抄録(和) | |
抄録(英) | |
キーワード(和) | 窒化物半導体 / 六方晶窒化ホウ素 / 機械的転写 |
キーワード(英) | Nitride Semiconductors / Hexagonal Boron Nitride / Mechanical Transfer |
資料番号 | ED2012-66,CPM2012-123,LQE2012-94 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | ED |
---|---|
開催期間 | 2012/11/22(から1日開催) |
開催地(和) | |
開催地(英) | |
テーマ(和) | |
テーマ(英) | |
委員長氏名(和) | |
委員長氏名(英) | |
副委員長氏名(和) | |
副委員長氏名(英) | |
幹事氏名(和) | |
幹事氏名(英) | |
幹事補佐氏名(和) | |
幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
---|---|
本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | 層状窒化ホウ素を剥離層とするGaN系デバイスの機械的転写法の開発(窒化物及び混晶半導体デバイス,及び一般) |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Layered boron nitride as a release layer for mechanical transfer of GaN-based devices |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | 窒化物半導体 / Nitride Semiconductors |
キーワード(2)(和/英) | 六方晶窒化ホウ素 / Hexagonal Boron Nitride |
キーワード(3)(和/英) | 機械的転写 / Mechanical Transfer |
第 1 著者 氏名(和/英) | 小林 康之 / Yasuyuki KOBAYASHI |
第 1 著者 所属(和/英) | 日本電信電話(株)NTT物性科学基礎研究所 NTT Basic Research Laboratories, NTT Corporation |
第 2 著者 氏名(和/英) | 熊倉 一英 / Kazuhide KUMAKURA |
第 2 著者 所属(和/英) | 日本電信電話(株)NTT物性科学基礎研究所 NTT Basic Research Laboratories, NTT Corporation |
第 3 著者 氏名(和/英) | 赤坂 哲也 / Tetsuya AKASAKA |
第 3 著者 所属(和/英) | 日本電信電話(株)NTT物性科学基礎研究所 NTT Basic Research Laboratories, NTT Corporation |
第 4 著者 氏名(和/英) | 山本 秀樹 / Hideki YAMAMOTO |
第 4 著者 所属(和/英) | 日本電信電話(株)NTT物性科学基礎研究所 NTT Basic Research Laboratories, NTT Corporation |
第 5 著者 氏名(和/英) | 牧本 俊樹 / Toshiki MAKIMOTO |
第 5 著者 所属(和/英) | 日本電信電話(株)NTT物性科学基礎研究所 NTT Basic Research Laboratories, NTT Corporation |
発表年月日 | 2012-11-29 |
資料番号 | ED2012-66,CPM2012-123,LQE2012-94 |
巻番号(vol) | vol.112 |
号番号(no) | 327 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 1 |
発行日 |