| 講演名 | 2012-10-17 有機物・ポリマーのための質量顕微鏡の開発(デバイス・評価,有機デバイス全般・一般) 坂本 哲夫, |
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| 抄録(和) | 近年有機デバイスの開発が進んでいるが、多くは多層膜・パターニング等の微小構造によりその機能を発現している。成膜の良否、混合比の決定、劣化メカニズムの解析においては、SEMによる観察だけではなく、同等の顕微鏡的観察が可能な成分分析法が必要である。そうしたニーズに堪えるべく、有機物やポリマーの同定能力をもつ質量顕微鏡の開発を進めてきた。本装置では、従来法とくらべ、感度に優れているほか、ポリマーにおいては直接的に構造情報が得られる可能性を示しており、新規な手法としての確立を目指している。本報では、装置の解説ならびに基礎データを示す。 |
| 抄録(英) | Recent progress in organic devices is based on stacked-multilayers and patterning which rise the device functions. In this field. analysis methods for the evaluation of thinfilm, mixing ratio, degradation are required. Such methods should be microscopic like SEM. The author has been developed a mass microscope on the basis of Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry (TOF-SIMS). The apparatus can get higher sensitivity and direct information of organics and polymers compared with conventional TOF-SIMS. In this paper, the design of the apparatus including some demonstration data is presented. |
| キーワード(和) | 表面分析 / 二次イオン質量分析 / イメージング / レーザーイオン化 / 有機物・ポリマー |
| キーワード(英) | Surface analysis / SIMS / Imaging / Laser-ionization / Organics and Polymers |
| 資料番号 | OME2012-49 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2012/10/10(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 有機物・ポリマーのための質量顕微鏡の開発(デバイス・評価,有機デバイス全般・一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of Mass Imaging Apparatus for Organics and Polymers |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 表面分析 / Surface analysis |
| キーワード(2)（和/英） | 二次イオン質量分析 / SIMS |
| キーワード(3)（和/英） | イメージング / Imaging |
| キーワード(4)（和/英） | レーザーイオン化 / Laser-ionization |
| キーワード(5)（和/英） | 有機物・ポリマー / Organics and Polymers |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 坂本 哲夫 / Tetsuo SAKAMOTO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 工学院大学工学部電気システム工学科 Department of Electrical Engineering, Kogakuin University |
| 発表年月日 | 2012-10-17 |
| 資料番号 | OME2012-49 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | 244 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |