| 講演名 | 2012-10-27 プラスチック基板上に作製したITO膜及び有機EL素子の機械的特性(薄膜プロセス・材料,一般) 松井 博章, 清水 英彦, 岩野 春男, 福嶋 康夫, 永田 向太郎, 坪井 望, 野本 隆宏, |
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| 抄録(和) | 本研究では,PEN基板上に様々な条件で作製したITO膜や有機EL素子を用いて機械的特性の検討を行った。その結果,ITO膜の表面には亀裂が生じており,これにより抵抗率が上昇した。また,膜厚,RF投入電力,ターゲット組成を変化させることで変形を行った後の膜表面の亀裂や抵抗率の変化が異なることから,膜堆積に用いるターゲットや膜作製条件を調整することにより,機械的に試料を変形させた場合の変化を抑制できる可能性があると考えられた。また,PEN基板上に有機EL素子を作製し,機械的に変形を複数回行うと,素子特性が大きく劣化することが分かった。 |
| 抄録(英) | In order to examine that mechanical properties of OLEDs with ITO thin films deposited on PEN substrates at low temperature, form of prepared OLEDs and ITO thin films was transformed mechanically. As a result, by mechanical transformation, the surface of the ITO films was cracked and the resistivity of ITO films was increased. It may be possible to suppress crack of ITO films surface and resistivity increase of ITO films with mechanical transformation by changing the thickness of ITO film, RF input power and composition of ITO targets. By the mechanical transformation, we understood that the OLED on the PEN substrate had bad properties. |
| キーワード(和) | フレキシブル / 低温成膜ITO膜 / 有機EL素子 |
| キーワード(英) | flexible / ITO thin films deposited at low temperature / OLEDs |
| 資料番号 | CPM2012-106 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2012/10/19(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | プラスチック基板上に作製したITO膜及び有機EL素子の機械的特性(薄膜プロセス・材料,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Mechanical properties of the OLEDs and ITO films prepared on plastics substrates |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | フレキシブル / flexible |
| キーワード(2)（和/英） | 低温成膜ITO膜 / ITO thin films deposited at low temperature |
| キーワード(3)（和/英） | 有機EL素子 / OLEDs |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 松井 博章 / Hiroaki Matsui |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 清水 英彦 / Hidehiko Shimizu |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 岩野 春男 / Haruo Iwano |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 福嶋 康夫 / Yasuo Fukushima |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 永田 向太郎 / Kotaro Nagata |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 坪井 望 / Nozomu Tsuboi |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 野本 隆宏 / Takahiro Nomoto |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 発表年月日 | 2012-10-27 |
| 資料番号 | CPM2012-106 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | 265 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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