| 講演名 | 2012-08-23 波長可変面発光レーザとスローライト光増幅器の平面集積構造の検討(光部品・電子デバイス実装技術・信頼性,及び一般) 中濱 正統, 佐野 勇人, 島田 敏和, 顧 暁冬, 坂口 孝浩, 松谷 晃宏, 小山 二三夫, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | マイクロマシン面発光レーザ(MEMS VCSEL)の単一モード出力の増大と新機能創出を目標として,Bragg反射鏡導波路に基づくスローライトSOAとMEMS VCSELの平面集積構造を提案した.解析により,980nm帯における40nmの波長掃引幅と共に,50μmのSOAを集積することで10mW以上のシングルモード出力を得られる可能性を示した.その集積構造のための初期実験として,熱駆動型のマイクロマシン反射鏡を集積したMEMS VCSELを作製し,反射鏡に集積した微小ヒータによる電気的な加熱により,170mWの加熱電力で35nmの波長掃引幅を得た.また,同様な構造によるオンチップビーム掃引機能についても議論する. |
| 抄録(英) | We propose the lateral integration scheme of an MEMS tunable VCSEL and a slow light amplifier for increasing single-mode powers and realizing new functionalities. The modeling result predicts the wavelength tuning range of 40 nm with the maximum output power over tens mW for a compact (50 μm) slow light amplifier monolithically integrated with an MEMS VCSEL. We fabricated an electro-thermally actuated MEMS VCSEL as a preliminary experiment for the proposed structure, and obtained a tuning range of 35 nm with heating power of 170 mW. In addition, we discuss an on-chip beam scanner employing the slow light amplifier. |
| キーワード(和) | 面発光レーザ / MEMS VCSEL / 波長可変光源 / Bragg反射鏡導波路 / スローライト |
| キーワード(英) | VCSEL / MEMS VCSEL / tunable laser / Bragg reflector waveguide / slow light |
| 資料番号 | R2012-33,EMD2012-39,CPM2012-64,OPE2012-71,LQE2012-37 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | R |
|---|---|
| 開催期間 | 2012/8/16(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Reliability(R) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 波長可変面発光レーザとスローライト光増幅器の平面集積構造の検討(光部品・電子デバイス実装技術・信頼性,及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Lateral Integration of Tunable MEMS VCSEL and Slow Light Amplifier |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 面発光レーザ / VCSEL |
| キーワード(2)（和/英） | MEMS VCSEL / MEMS VCSEL |
| キーワード(3)（和/英） | 波長可変光源 / tunable laser |
| キーワード(4)（和/英） | Bragg反射鏡導波路 / Bragg reflector waveguide |
| キーワード(5)（和/英） | スローライト / slow light |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 中濱 正統 / Masanori NAKAHAMA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東工大精研 P&I Lab., Tokyo Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 佐野 勇人 / Hayato SANO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東工大精研 P&I Lab., Tokyo Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 島田 敏和 / Toshikazu SHIMADA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東工大精研 P&I Lab., Tokyo Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 顧 暁冬 / Xiaodong GU |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東工大精研 P&I Lab., Tokyo Institute of Technology |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 坂口 孝浩 / Takahiro SAKAGUCHI |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東工大精研 P&I Lab., Tokyo Institute of Technology |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 松谷 晃宏 / Akihiro MATSUTANI |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 東工大精研 P&I Lab., Tokyo Institute of Technology |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 小山 二三夫 / Fumio KOYAMA |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 東工大精研 P&I Lab., Tokyo Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2012-08-23 |
| 資料番号 | R2012-33,EMD2012-39,CPM2012-64,OPE2012-71,LQE2012-37 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | 180 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |