講演名 | 2012-07-27 隣接チャネル間電気干渉を抑制可能な波長選択スイッチ(WSS)用MEMSミラーアレイ(マイクロ波フォトニクス技術,一般) 碓氷 光男, 内山 真吾, 橋本 悦, 阪田 知巳, 下山 展弘, 葉玉 恒一, 松浦 伸昭, 石井 雄三, 松浦 徹, |
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抄録(和) | 波長選択スイッチ(WSS)用として、高フィルファクタで狭ピッチ・多チャネル化に適する二軸回転可能なMEMSミラーアレイを開発した。ミラーアレイの隣接チャネル間で発生する電気的干渉を抑制するため、シミュレーションによる解析を行い、ミラー駆動用アクチュエータ部に電界分離用電極を配置する電極構造を設計した。開発した小型気密封止パッケージ構造を適用し、試作した50chミラーアレイモジュールにおいて、良好な駆動特性、および電気干渉低減効果を確認した。 |
抄録(英) | We developed a new two-axis microelectromechanical systems (MEMS) mirror array for wavelength selective switches. This MEMS mirror array has a suitable structure for a narrow pitch and high fill factor. On the basis of simulation results, we designed a new electrode structure to reduce electrical interference between adjacent channels. To fabricate the MEMS mirror array module, we developed a small-sealing-packaging technology. We fabricated 50-ch-MEMS mirror array modules using this packaging technology, and confirmed the electrical interference reduction in the fabricated MEMS mirror array modules. |
キーワード(和) | 波長選択スイッチ(WSS) / MEMS / ミラーアレイ / 電気干渉 / モジュール化技術 |
キーワード(英) | Wavelength selective switch(WSS) / MEMS / Mirror array / Electrical Interference / Packaging Technology |
資料番号 | MW2012-48,OPE2012-41,EST2012-30,MWP2012-29 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | OPE |
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開催期間 | 2012/7/19(から1日開催) |
開催地(和) | |
開催地(英) | |
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テーマ(英) | |
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幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Optoelectronics (OPE) |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | 隣接チャネル間電気干渉を抑制可能な波長選択スイッチ(WSS)用MEMSミラーアレイ(マイクロ波フォトニクス技術,一般) |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | A MEMS Mirror Array for Wavelength Selective Switches with a Structure to Suppress Electrical Interference between Adjacent Channels |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | 波長選択スイッチ(WSS) / Wavelength selective switch(WSS) |
キーワード(2)(和/英) | MEMS / MEMS |
キーワード(3)(和/英) | ミラーアレイ / Mirror array |
キーワード(4)(和/英) | 電気干渉 / Electrical Interference |
キーワード(5)(和/英) | モジュール化技術 / Packaging Technology |
第 1 著者 氏名(和/英) | 碓氷 光男 / Mitsuo USUI |
第 1 著者 所属(和/英) | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
第 2 著者 氏名(和/英) | 内山 真吾 / Shingo UCHIYAMA |
第 2 著者 所属(和/英) | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
第 3 著者 氏名(和/英) | 橋本 悦 / Etsu HASHIMOTO |
第 3 著者 所属(和/英) | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
第 4 著者 氏名(和/英) | 阪田 知巳 / Tomomi SAKATA |
第 4 著者 所属(和/英) | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
第 5 著者 氏名(和/英) | 下山 展弘 / Nobihiro SHIMOYAMA |
第 5 著者 所属(和/英) | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
第 6 著者 氏名(和/英) | 葉玉 恒一 / Koichi HADAMA |
第 6 著者 所属(和/英) | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
第 7 著者 氏名(和/英) | 松浦 伸昭 / Nobuaki MATSUURA |
第 7 著者 所属(和/英) | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
第 8 著者 氏名(和/英) | 石井 雄三 / Yuzo ISHII |
第 8 著者 所属(和/英) | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
第 9 著者 氏名(和/英) | 松浦 徹 / Tohru MATSUURA |
第 9 著者 所属(和/英) | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
発表年月日 | 2012-07-27 |
資料番号 | MW2012-48,OPE2012-41,EST2012-30,MWP2012-29 |
巻番号(vol) | vol.112 |
号番号(no) | 156 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 6 |
発行日 |