| 講演名 | 2012-07-27 隣接チャネル間電気干渉を抑制可能な波長選択スイッチ(WSS)用MEMSミラーアレイ(マイクロ波フォトニクス技術,一般) 碓氷 光男, 内山 真吾, 橋本 悦, 阪田 知巳, 下山 展弘, 葉玉 恒一, 松浦 伸昭, 石井 雄三, 松浦 徹, |
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| 抄録(和) | 波長選択スイッチ(WSS)用として、高フィルファクタで狭ピッチ・多チャネル化に適する二軸回転可能なMEMSミラーアレイを開発した。ミラーアレイの隣接チャネル間で発生する電気的干渉を抑制するため、シミュレーションによる解析を行い、ミラー駆動用アクチュエータ部に電界分離用電極を配置する電極構造を設計した。開発した小型気密封止パッケージ構造を適用し、試作した50chミラーアレイモジュールにおいて、良好な駆動特性、および電気干渉低減効果を確認した。 |
| 抄録(英) | We developed a new two-axis microelectromechanical systems (MEMS) mirror array for wavelength selective switches. This MEMS mirror array has a suitable structure for a narrow pitch and high fill factor. On the basis of simulation results, we designed a new electrode structure to reduce electrical interference between adjacent channels. To fabricate the MEMS mirror array module, we developed a small-sealing-packaging technology. We fabricated 50-ch-MEMS mirror array modules using this packaging technology, and confirmed the electrical interference reduction in the fabricated MEMS mirror array modules. |
| キーワード(和) | 波長選択スイッチ(WSS) / MEMS / ミラーアレイ / 電気干渉 / モジュール化技術 |
| キーワード(英) | Wavelength selective switch(WSS) / MEMS / Mirror array / Electrical Interference / Packaging Technology |
| 資料番号 | MW2012-48,OPE2012-41,EST2012-30,MWP2012-29 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EST |
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| 開催期間 | 2012/7/19(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electronic Simulation Technology (EST) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 隣接チャネル間電気干渉を抑制可能な波長選択スイッチ(WSS)用MEMSミラーアレイ(マイクロ波フォトニクス技術,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A MEMS Mirror Array for Wavelength Selective Switches with a Structure to Suppress Electrical Interference between Adjacent Channels |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 波長選択スイッチ(WSS) / Wavelength selective switch(WSS) |
| キーワード(2)（和/英） | MEMS / MEMS |
| キーワード(3)（和/英） | ミラーアレイ / Mirror array |
| キーワード(4)（和/英） | 電気干渉 / Electrical Interference |
| キーワード(5)（和/英） | モジュール化技術 / Packaging Technology |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 碓氷 光男 / Mitsuo USUI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 内山 真吾 / Shingo UCHIYAMA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 橋本 悦 / Etsu HASHIMOTO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 阪田 知巳 / Tomomi SAKATA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 下山 展弘 / Nobihiro SHIMOYAMA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 葉玉 恒一 / Koichi HADAMA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 松浦 伸昭 / Nobuaki MATSUURA |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 石井 雄三 / Yuzo ISHII |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 松浦 徹 / Tohru MATSUURA |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, NTT Corporation |
| 発表年月日 | 2012-07-27 |
| 資料番号 | MW2012-48,OPE2012-41,EST2012-30,MWP2012-29 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | 157 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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