| 講演名 | 2012-06-22 触媒反応生成高エネルギーH_2Oを用いて成長したZnO/a-Al_2O_3膜の電気伝導特性 : 二層モデルによる解析(酸化物,酸化物エレクトロニクス,一般) 永冨 瑛智, 山口 直也, 加藤 孝弘, 梅本 宏信, 安井 寛治, |
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| 抄録(和) | 白金ナノ粒子表面での水素と酸素の発熱反応を利用して高エネルギーH_2Oを生成、アルキル亜鉛ガスと衝突させ形成した高エネルギーZnOプリカーサを基板に供給、サファイアA面基板上にZnO結晶膜を成長させた。様々な厚さのZnO膜を成長させそれらの電気伝導特性を調べたところ、約3μmまで膜厚の増加に伴い移動度は大きくなった。格子ミスマッチの大きなサファイア基板上では、成長初期に高欠陥密度の縮退層が形成されていると考えられるため、膜上部の高品位結晶層と下部の縮退層からなるという二層モデルを用いて高品位結晶層の移動度を求めたところ膜全体の測定値より大きな値になると評価された。ただ、二層モデルでは完全には補正できていないことも推察された。 |
| 抄録(英) | Electrical properties of ZnO thin films, which were grown through a reaction between dimethylzinc and high-energy H_2O produced by a Pt-catalyzed H_2 O_2 reaction, were measured. The films were grown directly on a-plane (11-20) sapphire substrates at 773 K without a buffer layer. As electron mobility increased with film thickness until approximately 3 μm, it was presumed that the ZnO films were composed of an initial growth layer with high density of defects and an upper layer with excellent crystallinity. By using a two-layer model, we estimated the electron mobility in the upper layer. The electron mobility, however, cannot be completely revised by the two-layer model. |
| キーワード(和) | ZnO / 触媒反応 / 高エネルギーH_2O / Hall移動度 / キャリア密度 / 二層モデル |
| キーワード(英) | ZnO / catalytic reaction / high-energy H_2O / Hall mobility / carrier concentration / two-layer model |
| 資料番号 | EMD2012-9,CPM2012-26,OME2012-33 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2012/6/15(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 触媒反応生成高エネルギーH_2Oを用いて成長したZnO/a-Al_2O_3膜の電気伝導特性 : 二層モデルによる解析(酸化物,酸化物エレクトロニクス,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Electronic properties of ZnO thin films grown on a-sapphire substrates using high-energy H_2O generated by a catalytic reaction : Analysis using a two layer model |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ZnO / ZnO |
| キーワード(2)（和/英） | 触媒反応 / catalytic reaction |
| キーワード(3)（和/英） | 高エネルギーH_2O / high-energy H_2O |
| キーワード(4)（和/英） | Hall移動度 / Hall mobility |
| キーワード(5)（和/英） | キャリア密度 / carrier concentration |
| キーワード(6)（和/英） | 二層モデル / two-layer model |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 永冨 瑛智 / Eichi NAGATOMI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 Faculty of Engineering, Nagaoka University of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 山口 直也 / Naoya YAMAGUCHI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 Faculty of Engineering, Nagaoka University of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 加藤 孝弘 / Takahiro KATO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 Faculty of Engineering, Nagaoka University of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 梅本 宏信 / Hironobu UMEMOTO |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 静岡大学 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 安井 寛治 / Kanji YASUI |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 Faculty of Engineering, Nagaoka University of Technology |
| 発表年月日 | 2012-06-22 |
| 資料番号 | EMD2012-9,CPM2012-26,OME2012-33 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | 97 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
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