| 講演名 | 2012-05-18 スパッタリング法によるLiMn_2O_4薄膜の生成と評価(光材料・デバイス,結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) 丹羽 彬夫, 以西 雅章, 中村 光宏, 野口 貴史, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | RFマグネトロンスパッタリング法により,Li二次電池正極用のLiMn_2O_4薄膜を生成している.本研究では,様々な条件で薄膜を生成し,薄膜の膜厚の測定,X線回折による生成物質の同定,走査電子顕微鏡による表面の観察を行い,それぞれの薄膜を比較して生成条件による薄膜の変化を評価した.その結果,Ar:O_2=3:1が,組成のずれが小さい事が分かった.この生成条件で薄膜を生成し,充放電測定を行った結果,放電容量は小さいがリチウム二次電池の正極として機能はしていることが分かった. |
| 抄録(英) | The LiMn_2O_4 films for Li secondary batteries have been prepared by a RF magnetron sputtering method. In this research, we have prepared LiMn_2O_4 films under various conditions, measured the film thickness of them, identified the materials by X-ray diffraction and observed the surface by scanning electron microscopy. We evaluated the variation of film properties with varying preparation. The relationship between film thickness and deposition time was clarified. The film composition was identified through comparing film thickness by using both gravimetric and physical methods. |
| キーワード(和) | LiMn_2O_4薄膜 / RFマグネトロンスパッタリング / Li二次電池 |
| キーワード(英) | LiMn_2O_4 thin film / RF magnetron sputtering / Li secondary batteries |
| 資料番号 | ED2012-37,CPM2012-21,SDM2012-39 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
|---|---|
| 開催期間 | 2012/5/10(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | スパッタリング法によるLiMn_2O_4薄膜の生成と評価(光材料・デバイス,結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Preparation and evaluation of LiMn_2O_4 films prepared by sputtering method |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | LiMn_2O_4薄膜 / LiMn_2O_4 thin film |
| キーワード(2)（和/英） | RFマグネトロンスパッタリング / RF magnetron sputtering |
| キーワード(3)（和/英） | Li二次電池 / Li secondary batteries |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 丹羽 彬夫 / Akihiro Niwa |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学研究科 Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 以西 雅章 / Masaaki Isai |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学研究科 Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 中村 光宏 / Mitsuhiro Nakamura |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学研究科 Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 野口 貴史 / Takashi Noguchi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学研究科 Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 発表年月日 | 2012-05-18 |
| 資料番号 | ED2012-37,CPM2012-21,SDM2012-39 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | 34 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |