| 講演名 | 2012-05-17 Ga_2O_3酸素センサの作製と評価(センサ,結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) 以西 雅章, 山本 貴弘, 鳥井 琢磨, |
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| 抄録(和) | 近年、環境問題に対する関心の高まりから、排気ガスの制御に酸素ガスセンサが注目されている。酸化ガリウム(Ga_2O_3)は900℃以上で酸素検知特性を持つことから、高温用酸素ガスセンサとして注目されている。そこで本研究ではβ-Ga_2O_3薄膜をRFマグネトロンスパッタリング法で生成した。本研究では、2種類の基板すなわち、Si(100)と石英基板上にβ-Ga_2O_3薄膜を生成し、酸素検知特性への影響について調べた。その結果、石英基板上に作製した酸素ガスセンサが優れた酸素検知特性を持つことが分かった。 |
| 抄録(英) | Recently, from a point of environmental problems, oxygen gas sensors attract attention of controlling the exhaust gas. The Ga_2O_3 has an oxygen detection characteristic at more than 900℃, so this material attracts much attention as an oxygen sensor at high temperature. The β-Ga_2O_3 films were prepared by the RF magnetron sputtering method. The influence of the two kinds of substrates, namely Si(100) and quartz to compare on the oxygen detection properties was evaluated. It was found that the oxygen gas sensor fabricated on a quartz substrate had superior oxygen detection characteristics than that fabricated on a Si substrate.. |
| キーワード(和) | 酸化ガリウム / 金属酸化物 / マグネトロンスパッタリング法 / 急速アニール / 酸素センサ |
| キーワード(英) | Gallium oxide / Metal oxides / Magnetron sputtering method / Rapid thermal annealing (RTA) / Oxygen sensor |
| 資料番号 | ED2012-25,CPM2012-9,SDM2012-27 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2012/5/10(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Ga_2O_3酸素センサの作製と評価(センサ,結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料)) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Preparation and evaluation of Ga_2O_3 oxygen sensors |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 酸化ガリウム / Gallium oxide |
| キーワード(2)（和/英） | 金属酸化物 / Metal oxides |
| キーワード(3)（和/英） | マグネトロンスパッタリング法 / Magnetron sputtering method |
| キーワード(4)（和/英） | 急速アニール / Rapid thermal annealing (RTA) |
| キーワード(5)（和/英） | 酸素センサ / Oxygen sensor |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 以西 雅章 / Masaaki Isai |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 山本 貴弘 / Takahiro Yamamoto |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学研究科 Graduate School of Engineering, Shizuoka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 鳥井 琢磨 / Takuma Torii |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 発表年月日 | 2012-05-17 |
| 資料番号 | ED2012-25,CPM2012-9,SDM2012-27 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | 34 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |