| 講演名 | 2012-04-27 青色半導体レーザアニールによるポリイミド基板上薄膜シリコンの結晶化(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術及び一般) 岡田 竜弥, ムジラネザ ジャン ドュ デュ, 白井 克弥, 鈴木 俊治, 野口 隆, 松島 英紀, 橋本 隆夫, 荻野 義明, 佐保田 英司, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 青色半導体レーザを用いて、ポリイミド上に形成した薄膜シリコンの結晶化を試みた。レーザ照射によって表面平坦性を保ったまま結晶化に成功し、粒径50nm程度の均一な結晶粒をほぼ100%の結晶化率で得られることが分かった。 |
| 抄録(英) | Crystallization of a-Si films on polyimide substrate was achieved using Blue Multi-Laser Diode Annealing. Surface roughness of crystallized films was smooth, and the crystallinity was almost 100% with uniform grains size of ～50 nm. |
| キーワード(和) | 青色半導体レーザ / スパッタ / TFT |
| キーワード(英) | Blue Multi-Laser Diode Annealing / Sputtering / TFT |
| 資料番号 | SDM2012-8,OME2012-8 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
|---|---|
| 開催期間 | 2012/4/20(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 青色半導体レーザアニールによるポリイミド基板上薄膜シリコンの結晶化(薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Crystallization of Si Thin Film on Poly-Imide Substrate by Semiconductor Blue Multi-Laser Diode Annealing |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 青色半導体レーザ / Blue Multi-Laser Diode Annealing |
| キーワード(2)（和/英） | スパッタ / Sputtering |
| キーワード(3)（和/英） | TFT / TFT |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 岡田 竜弥 / Tatsuya OKADA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 琉球大学工学部 Faculty of Engineering, University of the Ryukyus |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | ムジラネザ ジャン ドュ デュ / Jean de Dieu Mugiraneza |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 琉球大学工学部 Faculty of Engineering, University of the Ryukyus |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 白井 克弥 / Katsuya SHIRAI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 琉球大学工学部 Faculty of Engineering, University of the Ryukyus |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 鈴木 俊治 / Toshiharu SUZUKI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 琉球大学工学部 Faculty of Engineering, University of the Ryukyus |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 野口 隆 / Takashi NOGUCHI |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 琉球大学工学部 Faculty of Engineering, University of the Ryukyus |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 松島 英紀 / Hideki MATSUSHIMA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 日立コンピュータ機器(株) Hitachi Computer Peripherals Co. Ltd. |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 橋本 隆夫 / Takao HASHIMOTO |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 日立コンピュータ機器(株) Hitachi Computer Peripherals Co. Ltd. |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 荻野 義明 / Yoshiaki OGINO |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 日立コンピュータ機器(株) Hitachi Computer Peripherals Co. Ltd. |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 佐保田 英司 / Eiji SAHOTA |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 日立コンピュータ機器(株) Hitachi Computer Peripherals Co. Ltd. |
| 発表年月日 | 2012-04-27 |
| 資料番号 | SDM2012-8,OME2012-8 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | 18 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | |