| 講演名 | 2012-01-27 シングルトレンチ型SiON導波路TE-TMモード変換器(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,一般) 中山 謙一, 庄司 雄哉, 水本 哲弥, |
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| 抄録(和) | TE-TMモード変換器は,光回路における基本的な機能デバイスである.本研究ではシングルトレンチ型SiON導波路を用いたTE-TMモード変換器について検討した.このデバイスは従来のものと異なり,1回のマスク形成・エッチングプロセスで製作できる利点がある.本報告では,シングルトレンチ型SiON導波路TE-TMモード変換器の設計と製作,特性評価について述べる.シミュレーションの結果,TE-TMモード変換効率の波長依存性は波長1.25μmから1.29μmの範囲で0.3%以下と極めて小さいことがわかった.また,反応性イオンエッチングを用いて実際にシングルトレンチ構造を製作した.製作したデバイスのTE-TMモード変換効率を測定したところ,モード変換器長400μmのデバイスで,波長1.27μmにおいて最大で80%の変換効率が得られた. |
| 抄録(英) | A TE-TM mode converter is one of fundamental functional devices. The design, fabrication and characterization of TE-TM mode converter with a single trench SiON waveguide are described. The device has the advantage that only a single mask and etching process is needed to fabricate. Also, the wavelength dependence of mode conversion efficiency is shown to be less than 0.3% in a wavelength range between 1.25μm to 1.29μm. We succeeded in fabricating the single trench TE-TM mode converter in a SiON waveguide by using a reactive iron etching technique. A TE-TM mode conversion of 80% was measured at λ=1.27μm in a fabricated device with a 400-μm-long single trench section. |
| キーワード(和) | TE-TMモード変換器 / SiON導波路 / TE-TMモード変換効率 |
| キーワード(英) | TE-TM mode converter / SiON waveguide / TE-TM mode conversion efficiency |
| 資料番号 | PN2011-71,OPE2011-187,LQE2011-173,EST2011-121,MWP2011-89 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | PN |
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| 開催期間 | 2012/1/19(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Photonic Network (PN) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | シングルトレンチ型SiON導波路TE-TMモード変換器(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Single trench SiON waveguide TE-TM mode converter |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | TE-TMモード変換器 / TE-TM mode converter |
| キーワード(2)（和/英） | SiON導波路 / SiON waveguide |
| キーワード(3)（和/英） | TE-TMモード変換効率 / TE-TM mode conversion efficiency |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 中山 謙一 / Kenichi NAKAYAMA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東工大院・理工・電気電子工学専攻 Dept. of Electric and Electronic Eng., Tokyo Tech |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 庄司 雄哉 / Yuya SHOJI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東工大院・理工・電気電子工学専攻 Dept. of Electric and Electronic Eng., Tokyo Tech |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 水本 哲弥 / Tetsuya MIZUMOTO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東工大院・理工・電気電子工学専攻 Dept. of Electric and Electronic Eng., Tokyo Tech |
| 発表年月日 | 2012-01-27 |
| 資料番号 | PN2011-71,OPE2011-187,LQE2011-173,EST2011-121,MWP2011-89 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | 412 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |