| 講演名 | 2011-12-16 Bag-of-Keypointsを用いた半導体欠陥画像分類(テーマセッション,実世界文字認識と理解) 作山 努, 松村 明, |
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| 抄録(和) | Bag-of-Keypoints (BoK)は画像分類を行うためのアルゴリズムである.このBoKはScale-Invariant Feature Transform (SIFT)を応用した技術で,様々な画像に対してその有効性が報告がされている.本稿では,半導体を製造する過程で発生した欠陥の画像を対象として,BoKを応用した分類手法を提案する.まず,欠陥箇所を撮像した複数の画像から背景を消去しておき,次に全ての欠陥部位から得られるキーポイントの総数が最大となるようにSIFTパラメータを調整する.これにより分類に直接寄与しないキーポイントの検出を抑制する一方で,分類対象である欠陥から必要なキーポイントを検出させることができる.半導体ウェーバ外観検査装置により得た欠陥画像を用いてシミュレーションを行った結果,工場ラインの人間が目視で分類したときと同程度の分類精度を得た. |
| 抄録(英) | Bag-of-Keypoints (BoK) is an algorithm for image classification. The BoK is based on Scale-Invariant Feature Transform (SIFT) which is an algorithm for deteting keypoints and extracting local feature descriptors. In this paper, we proposed a novel approach for Automatic defect classification (ADC) using BoK. First, to remove a noise in the image, we used a background removing technique. Secondly, to detect the keypoints on subject in the image, we fix the SIFT parameter that is a best value for increasing the number of keyopints. In the result, we could classified the image at the same level as human in factory line. |
| キーワード(和) | Bag-of-Keypoints / SIFT / ADC / 半導体 / SVM |
| キーワード(英) | Bag-of-Keypoints / SIFT / ADC / semiconductor / SVM |
| 資料番号 | PRMU2011-134 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | PRMU |
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| 開催期間 | 2011/12/8(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Pattern Recognition and Media Understanding (PRMU) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Bag-of-Keypointsを用いた半導体欠陥画像分類(テーマセッション,実世界文字認識と理解) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Automatic defect classification using Bag-of-Keypoints |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | Bag-of-Keypoints / Bag-of-Keypoints |
| キーワード(2)（和/英） | SIFT / SIFT |
| キーワード(3)（和/英） | ADC / ADC |
| キーワード(4)（和/英） | 半導体 / semiconductor |
| キーワード(5)（和/英） | SVM / SVM |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 作山 努 / Tsutomu SAKUYAMA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 大日本スクリーン製造株式会社 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 松村 明 / Akira MATSUMURA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 大日本スクリーン製造株式会社 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. |
| 発表年月日 | 2011-12-16 |
| 資料番号 | PRMU2011-134 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | 353 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |