| 講演名 | 2011-11-29 リソグラフィの歴史と今後の展望(基調講演,デザインガイア2011-VLSI設計の新しい大地-) 野嶋 茂樹, |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | リソグラフィ / Design for manufacturability / DFM / 全体最適化技術 |
| キーワード(英) | Lithography / Design for manufacturability / DFM / Total optimization |
| 資料番号 | VLD2011-81,CPM2011-161,ICD2011-93,CPSY2011-48,DC2011-57,RECONF2011-49 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | RECONF |
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| 開催期間 | 2011/11/21(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Reconfigurable Systems (RECONF) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | リソグラフィの歴史と今後の展望(基調講演,デザインガイア2011-VLSI設計の新しい大地-) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Lithography : Past, Present, and Future |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | リソグラフィ / Lithography |
| キーワード(2)（和/英） | Design for manufacturability / Design for manufacturability |
| キーワード(3)（和/英） | DFM / DFM |
| キーワード(4)（和/英） | 全体最適化技術 / Total optimization |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 野嶋 茂樹 / Shigeki NOJIMA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | (株)東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター Toshiba Corp. Corporate R&D Center |
| 発表年月日 | 2011-11-29 |
| 資料番号 | VLD2011-81,CPM2011-161,ICD2011-93,CPSY2011-48,DC2011-57,RECONF2011-49 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | 323 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 42 |
| 発行日 | |