| 講演名 | 2011-11-18 ナノインプリント法を用いた段差型有機トランジスタの作製(光機能性有機材料・デバイス,光非線形現象,一般) 吹山 雅浩, 山内 博, 飯塚 正明, 酒井 正俊, 工藤 一浩, |
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| 抄録(和) | 有機トランジスタを低駆動電圧、大電流で動作させるためには短チャネル化が有効である。そこで我々は、段差構造を利用することで容易にサブミクロン長の短チャネルを実現することができる段差型有機トランジスタ(SVC-OFET)を作製し、その素子特性を調べた。特に本研究では、段差を形成する手段としてナノインプリント法を用いた。ナノインプリント法は微細加工を比較的簡単に行うことができるため、SVC-OFETを簡便に作製することができる。SVC-OFETの有機半導体層には、蒸着法で成膜したペンタセンと塗布法により成膜したTIPS-ペンタセンの二種類を用いており、各素子ともにFET動作を確認することができた。 |
| 抄録(英) | The reduction of channel length is one of the effective approaches to achieve the low operation voltage and large current. We have fabricated the step-edge vertical channel organic field-effect transistors (SVC-OFET) using nanoimprint lithography (NIL) and measured their FET characteristics. A short channel with sub-micrometers can be easily achieved by forming the channel on the side wall of the step-edge structure by the simple NIL process. Pentacene and 6,13-bis(triisopropyl-silylethynyl)pentacene (TIPS-pentacene) films used as organic semiconductors were formed by a vacuum evaporation and a drop casting method, respectively. |
| キーワード(和) | ナノインプリント法 / 有機トランジスタ / 短チャネル / ペンタセン / TIPS-ペンタセン |
| キーワード(英) | Nanoimprint lithography / Organic field-effect transistor / Short channel length / Pentacene / TIPS-pentacene |
| 資料番号 | OME2011-63,OPE2011-138 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2011/11/11(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ナノインプリント法を用いた段差型有機トランジスタの作製(光機能性有機材料・デバイス,光非線形現象,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of Step-Edge Vertical Channel Organic Field-Effect Transistors Using Nanoimprint Lithography |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ナノインプリント法 / Nanoimprint lithography |
| キーワード(2)（和/英） | 有機トランジスタ / Organic field-effect transistor |
| キーワード(3)（和/英） | 短チャネル / Short channel length |
| キーワード(4)（和/英） | ペンタセン / Pentacene |
| キーワード(5)（和/英） | TIPS-ペンタセン / TIPS-pentacene |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 吹山 雅浩 / Masahiro FUKIYAMA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 千葉大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Chiba University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 山内 博 / Hiroshi YAMAUCHI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 千葉大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Chiba University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 飯塚 正明 / Masaaki IIZUKA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 千葉大学教育学部 Faculty of Education, Chiba University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 酒井 正俊 / Masatoshi SAKAI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 千葉大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Chiba University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 工藤 一浩 / Kazuhiro KUDO |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 千葉大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Chiba University |
| 発表年月日 | 2011-11-18 |
| 資料番号 | OME2011-63,OPE2011-138 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | 302 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |