| 講演名 | 2011-10-20 埋め込み構造によるMOSFETにおけるランダム・テレグラフ・ノイズの低減(プロセス科学と新プロセス技術) 鈴木 裕彌, 黒田 理人, 寺本 章伸, 米澤 彰浩, 松岡 弘章, 中澤 泰希, 阿部 健一, 須川 成利, 大見 忠弘, |
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| 抄録(和) | ブロードチャネル構造によって,劇的なランダム・テレグラフ・ノイズ(RTN)の低減効果を得た.形成されるチャネルの位置をトラップから遠ざけ,チャネルを幅広く形成させることにより,トラップによるクーロン閉塞効果とチャネルパーコレーションを抑制することが,低ノイズ回路の実現につながるRTNの低減に非常に有効であることを見出した. |
| 抄録(英) | Drastic reduction of random telegraph noise (RTN) is demonstrated due to the broad channel MOSFET structure. We found that suppressing the channel percolation and the reducing the trap's coulomb blockade effect by the channel broadness and the trap-channel distance separation are the keys to the RTN reduction, leading to the developments of low noise circuits. |
| キーワード(和) | RTN / MOSFET / 埋め込みチャネル |
| キーワード(英) | RTN / MOSFET / Buried channel |
| 資料番号 | SDM2011-98 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2011/10/13(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 埋め込み構造によるMOSFETにおけるランダム・テレグラフ・ノイズの低減(プロセス科学と新プロセス技術) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Reduction of Random Telegraph Noise with Broad Channel MOSFET |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | RTN / RTN |
| キーワード(2)（和/英） | MOSFET / MOSFET |
| キーワード(3)（和/英） | 埋め込みチャネル / Buried channel |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 鈴木 裕彌 / Hiroyoshi SUZUKI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku Univ. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 黒田 理人 / Rihito KURODA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku Univ. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 寺本 章伸 / Akinobu TERAMOTO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学未来科学技術共同研究センター New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku Univ. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 米澤 彰浩 / Akihiro YONEZAWA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku Univ. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 松岡 弘章 / Hiroaki MATSUOKA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku Univ. |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 中澤 泰希 / Taiki NAKAZAWA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku Univ. |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 阿部 健一 / Kenichi ABE |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku Univ. |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 須川 成利 / Shigetoshi SUGAWA |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku Univ. |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 大見 忠弘 / Tadahiro OHMI |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 東北大学未来科学技術共同研究センター New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku Univ. |
| 発表年月日 | 2011-10-20 |
| 資料番号 | SDM2011-98 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | 249 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
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