| 講演名 | 2011-10-21 ゲート付CNT電子源を用いたX線源の開発(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術) 真鍋 知弥, 新田 翔吾, 沖 宏吏, 阿保 智, 若家 冨士男, 高井 幹夫, |
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| 抄録(和) | スクリーン印刷法で作製したガラス基板上ゲート付CNT電子源を用いたX線源のパルス制御を検討している。電子放出特性改善のためKfFエキシマーレーザと高電界パルスエージングによる表面処理を約44mm×50mmのCNT電子源に施した。CNT電子源、開口率約40%のゲート電極、銅薄膜の3極構造を用い、銅薄膜に最大13kvの加速電圧を、ゲート電極にパルス幅10ms、周波数10Hz、ピーク電圧500Vのパルス電圧をそれぞれ印加し、印加パルスに同期した10HzのパルスX線を得た。 |
| 抄録(英) | A pulsed X-ray source using a gated CNT (Carbon Nanotube) emitter has been developed. A CNT emitter with a size of 44 × 50 mm^2 was fabricated on an Indium Tin Oxide (ITO)/glass substrate by screen printing. The emission characteristics and the uniformity of emission from CNT emitters have been improved by KrF excimer laser irradiation and high electric field pulse aging. The triode structure is constructed from a CNT emitter, a gate electrode and a thin Cu target. The maximum applied voltage of the Cu target is 13 kV. The pulse voltage with 1 ms width, 10 Hz repetition, and 500 Vpeak is applied to the gate electrode. 10 Hz X-ray pulses, synchronized with gate pulse voltage, are obtained. |
| キーワード(和) | CNT (Carbon Nanotube) / X線源 / 電子放出 / 電子源 |
| キーワード(英) | CNT (Carbon Nanotube) / X-ray source / Field emission / Electron emitter |
| 資料番号 | ED2011-71 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2011/10/13(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ゲート付CNT電子源を用いたX線源の開発(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of X-ray source using gated CNT emitter |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | CNT (Carbon Nanotube) / CNT (Carbon Nanotube) |
| キーワード(2)（和/英） | X線源 / X-ray source |
| キーワード(3)（和/英） | 電子放出 / Field emission |
| キーワード(4)（和/英） | 電子源 / Electron emitter |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 真鍋 知弥 / Tomoya MANABE |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 大阪大学極限量子科学研究センター Center for Quantum Science and Technology under Extreme Conditions, Osaka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 新田 翔吾 / Shogo NITTA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 大阪大学極限量子科学研究センター Center for Quantum Science and Technology under Extreme Conditions, Osaka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 沖 宏吏 / Hiroshi OKI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 大阪大学極限量子科学研究センター Center for Quantum Science and Technology under Extreme Conditions, Osaka University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 阿保 智 / Satoshi ABO |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 大阪大学極限量子科学研究センター Center for Quantum Science and Technology under Extreme Conditions, Osaka University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 若家 冨士男 / Fujio WAKAYA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 大阪大学極限量子科学研究センター Center for Quantum Science and Technology under Extreme Conditions, Osaka University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 高井 幹夫 / Mikio TAKAI |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 大阪大学極限量子科学研究センター Center for Quantum Science and Technology under Extreme Conditions, Osaka University |
| 発表年月日 | 2011-10-21 |
| 資料番号 | ED2011-71 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | 248 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |