| 講演名 | 2011-10-27 NH_3分解触媒を用いたInNのMOVPE成長(薄膜プロセス・材料,一般) 廣長 大造, 杉田 憲一, / 橋本 明弘, 山本 〓勇, |
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| 抄録(和) | NH_3を窒素源とするInNのMOVPE成長において、NH_3の分解率向上のためにPt触媒の導入を提案し検討した。Pt触媒の導入によって、InN膜の電気的特性ならびに結晶学的特性が向上することを確認した。電気的特性では電子移動度1340cm^2/Vsを得た。結晶学的特性では8.63arcminのTilt値を実現した。また、InN膜の厚膜化による電気的特性ならびに結晶学的特性の向上を確認した。 |
| 抄録(英) | In order to increase the NH_3 decomposition rate in the MOVPE growth of InN, the employment of Pt catalyst has been proposed and experimentally demonstrated. Electrical and crystallographic properties of InN are markedly improved by using Pt catalyst. An electron mobility as high as 1340 cm^2/Vs and a tilt fluctuation as low as 8.63 arcmin have been obtained for InN films grown with Pt catalyst. The improvements of electrical and crystallographic properties of InN with increasing grown InN thickness have been also found. |
| キーワード(和) | MOVPE / InN / NH_3 |
| キーワード(英) | MOVPE / InN / NH_3 |
| 資料番号 | CPM2011-121 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2011/10/19(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | NH_3分解触媒を用いたInNのMOVPE成長(薄膜プロセス・材料,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | MOVPE growth of InN using NH_3 decomposition catalyst |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | MOVPE / MOVPE |
| キーワード(2)（和/英） | InN / InN |
| キーワード(3)（和/英） | NH_3 / NH_3 |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 廣長 大造 / Daizo HIRONAGA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 福井大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, University of Fukui |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 杉田 憲一 / Kenichi SUGITA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 福井大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, University of Fukui |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | / 橋本 明弘 / A. G. Bhuiyan |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 福井大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, University of Fukui |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 山本 〓勇 / Akihiro HASHIMOTO |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 福井大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, University of Fukui |
| 発表年月日 | 2011-10-27 |
| 資料番号 | CPM2011-121 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | 264 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
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