| 講演名 | 2011-10-26 低電圧駆動フレキシブル有機EL素子のためのITO薄膜の検討(薄膜プロセス・材料,一般) 劉 暢, 松井 博章, 木伏 貴映, 清水 英彦, 岩野 春男, 福嶋 康夫, 永田 向太郎, 坪井 望, 野本 隆宏, |
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| 抄録(和) | 本研究では,PENやアクリルなどのプラスチック基板上に,様々な条件でIYO膜を作製するとともに,有機EL素子に及ぼす影響について検討を行った。RF-DC結合形スパッタ法を用いて,ガラス,PEN,アクリル基板上に様々な条件でITO膜を製膜し,有機EL素子へと応用し,評価を行った。その結果,ITO膜堆積時の基板温度が60℃以下においては基板材質による有機EL素子の特性への大きな影響は見られなかった。しかし,膜堆積時の基板温度が約80℃以上になると,アクリルのような耐熱性に劣る基板では,基板からのITO膜の剥離が観測され,有機EL素子への応用は困難であることが分かった。 |
| 抄録(英) | In order to examine that properties of OLEDs with ITO thin films deposited at low temperature, ITO films was deposited on glass, PEN and acrylic substrate by RF-DC coupled magnetron sputtering, and preparation of OLEDs was attempted on those ITO films. As a result, there were few characteristic differences of the OLEDs with substrate materials at the substrate temperature less than 60℃. But the detachment of the ITO films from an acrylic substrate at substrate temperature more than 80℃ was observed. Therefore, the preparation of the OLEDs on acrylic substrate was difficult when ITO films were deposited at substrate more than 80℃ temperature on acrylic substrate. |
| キーワード(和) | フレキシブル / 低温成膜ITO膜 / 有機EL素子 / 基板温度 |
| キーワード(英) | flexible / ITO thin films deposited at low temperature / OLEDs / substrate temperature |
| 資料番号 | CPM2011-110 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2011/10/19(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 低電圧駆動フレキシブル有機EL素子のためのITO薄膜の検討(薄膜プロセス・材料,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Examination of ITO Thin Films for Flexible-OLEDs at Low-Voltage Driving |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | フレキシブル / flexible |
| キーワード(2)（和/英） | 低温成膜ITO膜 / ITO thin films deposited at low temperature |
| キーワード(3)（和/英） | 有機EL素子 / OLEDs |
| キーワード(4)（和/英） | 基板温度 / substrate temperature |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 劉 暢 / Chang Liu |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 新潟大学大学院自然科学研究科 Graduate School of Science and Technology, Niigata University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 松井 博章 / Hideki Matsui |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 新潟大学大学院自然科学研究科 Graduate School of Science and Technology, Niigata University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 木伏 貴映 / Takaaki Kibushi |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 新潟大学大学院自然科学研究科 Graduate School of Science and Technology, Niigata University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 清水 英彦 / Hidehiko Shimizu |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 岩野 春男 / Haruo Iwano |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 福嶋 康夫 / Yasuo Fukushima |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 永田 向太郎 / Kotaro Nagata |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 坪井 望 / Nozomu Tsuboi |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 野本 隆宏 / Takahiro Nomoto |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 発表年月日 | 2011-10-26 |
| 資料番号 | CPM2011-110 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | 264 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
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