| 講演名 | 2011-10-26 複合ターゲットを用いた反応性スパッタリング法によるCuAlO_2薄膜の作製と構造評価(薄膜プロセス・材料,一般) 横本 拓也, 前田 洋輔, 宮澤 匠, 山上 朋彦, 阿部 克也, |
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| 抄録(和) | 複合ターゲットを用いた反応性スパッタリング法を用いてCuAlO_2薄膜の作製と構造評価を行った。本研究での複合ターゲットはAl円板上に三角形のCu板を載せただけという簡易な構造をしている。Alのターゲット面積比率(Al/(Al+Cu))を大きくしていくと膜中のAlとCuの比を制御できることがわかり、また酸素流量を増加させることでCuターゲットのスパッタレートが減少し、相対的にAl元素の組成比が増加することがわかった。Alの面積比率95%、酸素流量3sccmの時、ストイキオメトリーに近い膜を得ることができた。また、この膜のXRD測定を行ったところアモルファスライクな膜であることがわかった。 |
| 抄録(英) | CuAlO_2 films were prepared by reactive magnetron sputtering using Al-Cu hybrid targets and these structural properties were characterized. The hybrid targets were some Cu plates placed on an Al target. The the film grown at an Al area ratio (Al/(Al+Cu)) of 95% and oxygen flow rate of 3 seem had a near stoichiometic composition ratio. From XRD measurements, the film structure was found to be amorphous. |
| キーワード(和) | 反応性スパッタリング / 透明導電性酸化物 / CuAlO_2 |
| キーワード(英) | reactive sputtering / TCO / CuAlO_2 |
| 資料番号 | CPM2011-109 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2011/10/19(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 複合ターゲットを用いた反応性スパッタリング法によるCuAlO_2薄膜の作製と構造評価(薄膜プロセス・材料,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Structural characterization of CuAlO_2 films deposited by reactive sputtering using hybrid target |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 反応性スパッタリング / reactive sputtering |
| キーワード(2)（和/英） | 透明導電性酸化物 / TCO |
| キーワード(3)（和/英） | CuAlO_2 / CuAlO_2 |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 横本 拓也 / Takuya YOKOMOTO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 前田 洋輔 / Yousuke MAEDA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 宮澤 匠 / Takumi MIYAZAWA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 山上 朋彦 / Tomohiko YAMAKAMI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 阿部 克也 / Katsuya ABE |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 発表年月日 | 2011-10-26 |
| 資料番号 | CPM2011-109 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | 264 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
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