| 講演名 | 2011-10-06 オンウェーハ測定用GSGプローブの電磁界シミュレーションモデリング(シミュレーション技術,一般) 平野 拓一, 岡田 健一, 広川 二郎, 安藤 真, |
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| 抄録(和) | チップ上に作成したアナログRF回路のオンウェーハ測定ではプローブをパッドに当てて励振する。このような構造の電磁界シミュレーションを行うためには、パッド部を含めた電磁界モデリングが必要となる。著者らは過去に対称性を有する被測定回路のパッド部の電磁界シミュレーション励振モデルについて検討を行い、実測との良好な一致を確認した。本稿では被測定回路が対極性を有しない一般の場合に拡張して、パッド部を含めたアナログRF回路の電磁界シミュレーション励振モデルについて検討した結果を報告する。 |
| 抄録(英) | On-chip analog RF circuits are measured using GSG probes by contacting them onto pads. Electromagnetic simulation modeling including pads is sometimes necessary. The authors had reported electromagnetic simulation modeling for excitations using GSG pads with symmetric circuit, and the validity was confirmed by measurement. In this report, the previous work is extended, and electromagnetic simulation modeling for the circuit without symmetry is investigated. |
| キーワード(和) | 電磁界解析モデリング / GSGプローブ / パッド / オンウェーハ測定 / ミリ波 / CMOS |
| キーワード(英) | Electromagnetic Analysis Modeling / GSG Probe / Pad / On-Wafer Measurement / Millimeter-Wave / CMOS |
| 資料番号 | EST2011-67 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EST |
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| 開催期間 | 2011/9/29(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electronic Simulation Technology (EST) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | オンウェーハ測定用GSGプローブの電磁界シミュレーションモデリング(シミュレーション技術,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A Study of Electromagnetic Modeling of GSG Probes for On-Wafer Measurement |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 電磁界解析モデリング / Electromagnetic Analysis Modeling |
| キーワード(2)（和/英） | GSGプローブ / GSG Probe |
| キーワード(3)（和/英） | パッド / Pad |
| キーワード(4)（和/英） | オンウェーハ測定 / On-Wafer Measurement |
| キーワード(5)（和/英） | ミリ波 / Millimeter-Wave |
| キーワード(6)（和/英） | CMOS / CMOS |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 平野 拓一 / Takuichi HIRANO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京工業大学理工学研究科 Graduate School of Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 岡田 健一 / Kenichi OKADA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京工業大学理工学研究科 Graduate School of Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 広川 二郎 / Jiro HIROKAWA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京工業大学理工学研究科 Graduate School of Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 安藤 真 / Makoto ANDO |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東京工業大学理工学研究科 Graduate School of Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2011-10-06 |
| 資料番号 | EST2011-67 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | 224 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |