講演名 2011-10-06
オンウェーハ測定用GSGプローブの電磁界シミュレーションモデリング(シミュレーション技術,一般)
平野 拓一, 岡田 健一, 広川 二郎, 安藤 真,
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抄録(和) チップ上に作成したアナログRF回路のオンウェーハ測定ではプローブをパッドに当てて励振する。このような構造の電磁界シミュレーションを行うためには、パッド部を含めた電磁界モデリングが必要となる。著者らは過去に対称性を有する被測定回路のパッド部の電磁界シミュレーション励振モデルについて検討を行い、実測との良好な一致を確認した。本稿では被測定回路が対極性を有しない一般の場合に拡張して、パッド部を含めたアナログRF回路の電磁界シミュレーション励振モデルについて検討した結果を報告する。
抄録(英) On-chip analog RF circuits are measured using GSG probes by contacting them onto pads. Electromagnetic simulation modeling including pads is sometimes necessary. The authors had reported electromagnetic simulation modeling for excitations using GSG pads with symmetric circuit, and the validity was confirmed by measurement. In this report, the previous work is extended, and electromagnetic simulation modeling for the circuit without symmetry is investigated.
キーワード(和) 電磁界解析モデリング / GSGプローブ / パッド / オンウェーハ測定 / ミリ波 / CMOS
キーワード(英) Electromagnetic Analysis Modeling / GSG Probe / Pad / On-Wafer Measurement / Millimeter-Wave / CMOS
資料番号 EST2011-67
発行日

研究会情報
研究会 EST
開催期間 2011/9/29(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Electronic Simulation Technology (EST)
本文の言語 JPN
タイトル(和) オンウェーハ測定用GSGプローブの電磁界シミュレーションモデリング(シミュレーション技術,一般)
サブタイトル(和)
タイトル(英) A Study of Electromagnetic Modeling of GSG Probes for On-Wafer Measurement
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 電磁界解析モデリング / Electromagnetic Analysis Modeling
キーワード(2)(和/英) GSGプローブ / GSG Probe
キーワード(3)(和/英) パッド / Pad
キーワード(4)(和/英) オンウェーハ測定 / On-Wafer Measurement
キーワード(5)(和/英) ミリ波 / Millimeter-Wave
キーワード(6)(和/英) CMOS / CMOS
第 1 著者 氏名(和/英) 平野 拓一 / Takuichi HIRANO
第 1 著者 所属(和/英) 東京工業大学理工学研究科
Graduate School of Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology
第 2 著者 氏名(和/英) 岡田 健一 / Kenichi OKADA
第 2 著者 所属(和/英) 東京工業大学理工学研究科
Graduate School of Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology
第 3 著者 氏名(和/英) 広川 二郎 / Jiro HIROKAWA
第 3 著者 所属(和/英) 東京工業大学理工学研究科
Graduate School of Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology
第 4 著者 氏名(和/英) 安藤 真 / Makoto ANDO
第 4 著者 所属(和/英) 東京工業大学理工学研究科
Graduate School of Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology
発表年月日 2011-10-06
資料番号 EST2011-67
巻番号(vol) vol.111
号番号(no) 224
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日