| 講演名 | 2011/8/18 微細MOSトランジスタにおけるDIBLおよび電流立上り電圧ばらつきの統計解析(低電圧/低消費電力技術,新デバイス・回路とその応用) , 水谷 朋子, 西田 彰男, 竹内 潔, 稲葉 聡, 蒲原 史朗, 寺田 和夫, 最上 徹, 平本 俊郎, |
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| 抄録(和) | 微細トランジスタにおける電流立上り電圧(Current-Onset Voltage,COV)とDIBLの統計解析を行った,COVは,我々が最近見いだした電流ばらつき要因の一つである.三次元デバイスシミュレーションの結果,しきい値電圧ばらつき(σVm)のゲート長・ゲート幅依存性はペリグロムプロットで一直線上にのるが,σCOVおよびσDIBLは,特にゲート長が短い領域において直線からはずれることがわかった.そのメカニズムについて検討した. |
| 抄録(英) | This paper presents the statistical analysis of a newly found drain current variability component called "current-onset voltage" (COV) variability as well as DIBL variability in CMOS devices. 3D device simulation based results show that al-though gate length and gate width dependent aVTH falls on the same line on the Pelgrom plot, σCOV and σDIBL deviate for the smaller gate areas. Their mechanisms are also discussed. |
| キーワード(和) | Pelgrom Plot / MOSFET / DIBL / COV |
| キーワード(英) | Pelgrom Plot / MOSFET / DIBL / COV |
| 資料番号 | ICD2011-52,SDM2011-84 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
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| 開催期間 | 2011/8/18(から1日開催) |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Integrated Circuits and Devices (ICD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 微細MOSトランジスタにおけるDIBLおよび電流立上り電圧ばらつきの統計解析(低電圧/低消費電力技術,新デバイス・回路とその応用) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Statistical Analysis of DIBL and Current-Onset Voltage (COV) Variability in Scaled MOSFETs |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | Pelgrom Plot / Pelgrom Plot |
| キーワード(2)（和/英） | MOSFET / MOSFET |
| キーワード(3)（和/英） | DIBL / DIBL |
| キーワード(4)（和/英） | COV / COV |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | / Anil KUMAR |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京大学生産技術研究所 Institute of Industrial Science, University of Tokyo |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 水谷 朋子 / Tomoko MIZUTANI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京大学生産技術研究所 Institute of Industrial Science, University of Tokyo |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 西田 彰男 / Akio NISHIDA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | / MIRAI-Selete |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 竹内 潔 / Kiyoshi TAKEUCHI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | / MIRAI-Selete |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 稲葉 聡 / Satoshi INABA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 広島市立大学 MIRAI-Selete |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 蒲原 史朗 / Shiro KAMOHARA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | / 東京大学生産技術研究所 MIRAI-Selete |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 寺田 和夫 / Kazuo TERADA |
| 第 7 著者 所属（和/英） | Hiroshima City University |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 最上 徹 / Tohru MOGAMI |
| 第 8 著者 所属（和/英） | MIRAI-Selete |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 平本 俊郎 / Toshiro HIRAMOTO |
| 第 9 著者 所属（和/英） | Institute of Industrial Science, University of Tokyo:MIRAI-Selete |
| 発表年月日 | 2011/8/18 |
| 資料番号 | ICD2011-52,SDM2011-84 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | 188 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
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