| 講演名 | 2011-06-30 イオンアシスト蒸着によるフッ素薄膜の密着性改善(材料デバイスサマーミーティング) 泉田 和夫, 松田 剛, 田中 邦明, 臼井 博明, |
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| 抄録(和) | ドライプロセスによる新たなフッ素系高分子膜形成技術として,イオンアシスト蒸着重合法を開発した,イオン照射によって基材表面をクリーニングすると同時にその表面を平滑化,活性化することにより膜/基板界面を改質し,密着性に優れた均質なフッ素系高分子膜を形成できる可能性が示された,スピンコート法による塗布型フッ素系高分子膜と比較した結果,イオンアシストを用いることで密着性の優れた薄膜が得られることを実証した.またイオン照射条件を制御することにより膜物性が変化し,低照射エネルギーで製膜することでフッ素系高分子固有の性質を持つ低表面エネルギーかつ低屈折率の薄膜が得られた.得られた膜は屈折率が低い特性を活かし,反射防止膜として応用可能である. |
| 抄録(英) | A novel dry process for depositing fluoropolymer thin film was developed by vapor deposition polymerization under the assistance by ion irradiation. The ion irradiation is effective in removing the impurities on the substrate surface. Moreover, it enables smoothening, chemical activation and physical treatment of the substrate surface. As a consequence, highly uniform fluoropolymer thin films with excellent adhesion were obtained. Their adhesion strength was compared to those fluoropolymer films that were prepared by the spin-coating method. Moreover, the ion-assisted deposition polymerization was capable of controlling the film characteristics by adjusting the ion acceleration voltage. The deposited films have low refractive index, which makes them attractive as the antireflective coating. |
| キーワード(和) | イオン照射アシスト蒸着 / 蒸着重合 / フッ素系高分子 / フッ化アルキルアクリレート / 密着性 / 表面改質 / 反射防止膜 |
| キーワード(英) | ion-assisted deposition / deposition polymerization / fluoropolymer / fluorinated alkylacrylate / adhesion strength / surface treatment / antireflective coating |
| 資料番号 | EMD2011-15,CPM2011-51,OME2011-29 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2011/6/23(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | イオンアシスト蒸着によるフッ素薄膜の密着性改善(材料デバイスサマーミーティング) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Adhesion Improvement of Fluoropolymer Thin Films by Ion-Assisted Vapor Deposition Polymerization |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | イオン照射アシスト蒸着 / ion-assisted deposition |
| キーワード(2)（和/英） | 蒸着重合 / deposition polymerization |
| キーワード(3)（和/英） | フッ素系高分子 / fluoropolymer |
| キーワード(4)（和/英） | フッ化アルキルアクリレート / fluorinated alkylacrylate |
| キーワード(5)（和/英） | 密着性 / adhesion strength |
| キーワード(6)（和/英） | 表面改質 / surface treatment |
| キーワード(7)（和/英） | 反射防止膜 / antireflective coating |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 泉田 和夫 / Kazuo SENDA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京農工大学大学院工学府 Tokyo University of Agriculture and Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 松田 剛 / Tsuyoshi MATSUDA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京農工大学大学院工学府 Tokyo University of Agriculture and Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 田中 邦明 / Kuniaki TANAKA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京農工大学大学院工学府 Tokyo University of Agriculture and Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 臼井 博明 / Hiroaki USUI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東京農工大学大学院工学府 Tokyo University of Agriculture and Technology |
| 発表年月日 | 2011-06-30 |
| 資料番号 | EMD2011-15,CPM2011-51,OME2011-29 |
| 巻番号（vol） | vol.111 |
| 号番号（no） | 109 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |