講演名 2011-05-20
TiO_2薄膜への安定した白金担持と光触媒特性(センサ,撮像,結晶成長,評価技術及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
中村 郁太, 佐藤 孝紀, 以西 雅章, 星 陽一,
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抄録(和) RFマグネトロンスパッタリング法により生成した酸化チタン薄膜に白金を担持させ、光触媒特性を比較・評価した。白金を助触媒として担持すると有機物分解特性は向上するが、白金粒子は疎水性であるために担持しすぎると親水特性を低下させてしまう。本研究では白金担持用イオンコーターに金属製メッシュを用いて白金堆積速度を抑え、親水特性を妨げずに有機物分解特性を向上させることができた。また、最も有機物分解特性が高くなる白金担持量を確認することができた。
抄録(英) TiO_2 films were prepared with RF magnetron sputtering method. The platinum (Pt) films were deposited on the TiO_2 films. The effect of Pt films on the photocatalytic properties were evaluated. It was found that depositing Pt as a cocatalyst improves organic-decomposition properties, but deteriorated hydrophilicity because Pt films have hydrophobic property. The Pt-deposition rate was successfully controlled by using a metallic mesh installing in the ion-coater. It could improved organic-decomposition properties without deteriorating of hydrophilicity. We confirmed that the Pt-deposition quantity was one of the most important parameters to improve the organic- decomposition properties.
キーワード(和) TiO_2薄膜 / RFマグネトロンスパッタリング / 光触媒 / 白金担持
キーワード(英) TiO_2 thin films / RF magnetron sputtering / Photocatalyst / Pratinum deposition
資料番号 ED2011-28,CPM2011-35,SDM2011-41
発行日

研究会情報
研究会 ED
開催期間 2011/5/12(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Electron Devices (ED)
本文の言語 JPN
タイトル(和) TiO_2薄膜への安定した白金担持と光触媒特性(センサ,撮像,結晶成長,評価技術及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
サブタイトル(和)
タイトル(英) Stabilized Pt deposition on the TiO_2 films and their photocatalytic properties
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) TiO_2薄膜 / TiO_2 thin films
キーワード(2)(和/英) RFマグネトロンスパッタリング / RF magnetron sputtering
キーワード(3)(和/英) 光触媒 / Photocatalyst
キーワード(4)(和/英) 白金担持 / Pratinum deposition
第 1 著者 氏名(和/英) 中村 郁太 / Ikuta NAKAMURA
第 1 著者 所属(和/英) 静岡大学大学院工学研究科
Facility of Engineering, Shizuoka University
第 2 著者 氏名(和/英) 佐藤 孝紀 / Takanori SATO
第 2 著者 所属(和/英) 静岡大学工学部
Graduate School of Engineering, Shizuoka University
第 3 著者 氏名(和/英) 以西 雅章 / Masaaki ISAI
第 3 著者 所属(和/英) 静岡大学大学院工学研究科
Facility of Engineering, Shizuoka University
第 4 著者 氏名(和/英) 星 陽一 / Yoichi HOSHI
第 4 著者 所属(和/英) 東京工芸大学工学部システム情報学科
Graduate School of Engineering, Tokyo Polytechnic University
発表年月日 2011-05-20
資料番号 ED2011-28,CPM2011-35,SDM2011-41
巻番号(vol) vol.111
号番号(no) 44
ページ範囲 pp.-
ページ数 5
発行日