| 講演名 | 2011-03-10 非線形MEMS共振器の共存解切り替えに関する一検討 八尾 惇, ナイク スケト, 引原 隆士, |
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| 抄録(和) | 近年注目を集めているMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)デバイスのひとつとして,MEMS共振器がある.Unterreithmeierらは,応答曲線にヒステリシス特性を有する両持ち梁のMEMS共振器において,駆動周波数を一定に保ったまま共存解を切り替えることが可能であることを示した.本報告では,この結果を受け,共振器における共存解の切り替えに時間遅れ入力を用いたフィードバック制御を適用することを検討する.まず,数値計算によりその制御の可能性について確認する.さらに,実験において検証するために,ヒステリシス特性を有するMEMS共振器を作製し,その特性を得た.これらについてまとめる. |
| 抄録(英) | Recently, MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) resonator has been extensively studied. Unterreithmeier et al. has suggested switching method for coexisting solutions in a MEMS resonator of doubly fixed beam with hysteresis at a single frequency. In this report, we apply the time-delayed feedback control to switch coexisting solutions. The availability of the control is numerically confirmed. In addition, MEMS resonators were designed and fabricated to obtain hysteretic characteristics. |
| キーワード(和) | MEMS / 共振器 / 切り替え / ヒステリシス特性 / 時間遅れ入力を用いたフィードバック制御 |
| キーワード(英) | MEMS / resonator / switching / hysteretic characteristics / time-delayed feedback control |
| 資料番号 | NLP2010-179 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | NLP |
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| 開催期間 | 2011/3/3(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Nonlinear Problems (NLP) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 非線形MEMS共振器の共存解切り替えに関する一検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A Study on Switching Method for Coexisting Solutions in a Nonlinear MEMS Resonator |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | MEMS / MEMS |
| キーワード(2)（和/英） | 共振器 / resonator |
| キーワード(3)（和/英） | 切り替え / switching |
| キーワード(4)（和/英） | ヒステリシス特性 / hysteretic characteristics |
| キーワード(5)（和/英） | 時間遅れ入力を用いたフィードバック制御 / time-delayed feedback control |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 八尾 惇 / Atsushi YAO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 京都大学大学院工学研究科電気工学専攻 Kyoto University, Department of Electrical Engineering |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | ナイク スケト / Suketu NAIK |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 京都大学大学院工学研究科電気工学専攻 Kyoto University, Department of Electrical Engineering |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 引原 隆士 / Takashi HIKIHARA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 京都大学大学院工学研究科電気工学専攻 Kyoto University, Department of Electrical Engineering |
| 発表年月日 | 2011-03-10 |
| 資料番号 | NLP2010-179 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | 465 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |