| 講演名 | 2010-12-16 ミリ波マイクロスコピー用高分解能スリット型プローブの開発 宮坂 紀行, 莅戸 立夫, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 方形金属導波管を用いたミリ波マイクロスコピー用スリット型プローブの高分解能化,高感度化に関する検討を実施した.新たなプローブとして,従来機械工作で製作しているスリット型プローブの先端に,バルクマイクロマシン(半導体プロセス)技術で製作したより微小なスリット開口を有するシリコン製チップを装着する構造を提案する.本チップの設計,製作方法について説明し,実際にチップを装着したプローブの特性評価実験の結果により本プローブ構造の有効性を実証する. |
| 抄録(英) | A novel type of slit probe incorporating a micromachined silicon (Si) chip for millimeter-wave scanning near-field microscopy is proposed. In order to improve the spatial resolution and image contrast attainable in millimeter-wave microscopy, a metal-coated Si chip with a micro-slit aperture fabricated using a bulk micromachining technique was attached to the tip of an ordinary slit-type probe at the end of a tapered rectangular waveguide. The design and fabrication of the Si chip are described and the results from experiments performed at U-band (40-60 GHz) frequencies to demonstrate the feasibility of this new probe configuration are presented. |
| キーワード(和) | ミリ波イメージング / 走査型近接場顕微鏡技術 / 近接場プローブ / バルクマイクロマシニング |
| キーワード(英) | Bulk micromachining / millimeter-wave imaging / near-field probes / scanning near-field microscopy |
| 資料番号 | MW2010-127 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW |
|---|---|
| 開催期間 | 2010/12/9(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Microwaves (MW) |
|---|---|
| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | ミリ波マイクロスコピー用高分解能スリット型プローブの開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Enhancing the Resolution of Millimeter-Wave Microscopy Using a Metal Slit-Type Probe |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ミリ波イメージング / Bulk micromachining |
| キーワード(2)（和/英） | 走査型近接場顕微鏡技術 / millimeter-wave imaging |
| キーワード(3)（和/英） | 近接場プローブ / near-field probes |
| キーワード(4)（和/英） | バルクマイクロマシニング / scanning near-field microscopy |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 宮坂 紀行 / Noriyuki MIYASAKA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 富山大学大学院理工学研究部 Graduate School of Science and Engineering for Research, University of Toyama |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 莅戸 立夫 / Tatsuo NOZOKIDO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 富山大学大学院理工学研究部 Graduate School of Science and Engineering for Research, University of Toyama |
| 発表年月日 | 2010-12-16 |
| 資料番号 | MW2010-127 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | 343 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |