| 講演名 | 2011-01-24 タイプII構造の集積型極低温電流比較器の設計(超伝導センシング基盤技術及びその応用,一般) 山田 隆宏, 前澤 正明, 丸山 道隆, 大江 武彦, 浦野 千春, 金子 晋久, 日高 睦夫, 佐藤 哲朗, 永沢 秀一, 日野出 憲治, |
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| 抄録(和) | II型のICCCの設計のため、その要素回路の超伝導体インダクタンスについて、市販の電磁界解析ソフトを用いた計算方法の検討を行った。まず、フリップチップ接続型超伝導量子干渉素子(SQUID)のインダクタンスについて解析し、測定結果と比べて20%程度の範囲内で一致した。次いで、II型ICCCのインダクタンスについても計算も行い、近似式により計算した結果とオーダー的に一致した。最後に、それらの計算結果を用いて、II型ICCCの設計指針を作成した。6層配線を用いて線幅/線間=1.5μm/1.5μmの設計ルールで18mm角チップ内に搭載する場合、50000ターンの巻き線を集積することができ、巻き線一巻きあたりに流れる入力電流に対するSQUID磁束計の感度として0.32pH/turnを得られることがわかった。 |
| 抄録(英) | We calculated superconductor inductances of a type-II integrated cryogenic current comparator (ICCC). First, inductances of a flip-chip-based superconducting quantum interference device (SQUID) were calculated using an electromagnetic field simulator. The results agreed with experimental results within an error of 20%. The simulations were also done for the type-II ICCC. The results showed an agreement with the approximated formula within an error of 50%. Finally, we made guidelines for designing the type-II ICCC based on those simulated results. We concluded that the number of winding turns of 50000 and a sensitivity of 0.32 pH/turn will be obtained by using six superconducting layers with a line & space of 1.5 μm & 1.5 μm on an 18 mm×18 mm chip. |
| キーワード(和) | 極低温電流比較器 / 集積型極低温電流比較器 / 超伝導回路 / ソレノイド / 超伝導量子干渉素子 / インダクタンス / 電磁界解析 |
| キーワード(英) | Cryogenic Current Comparator / Integrated Cryogenic Current Comparator / Superconducting Circuit / Solenoid / superconducting quantum interference device / Inductance / Electromagnetic Analysis |
| 資料番号 | SCE2010-41 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
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| 開催期間 | 2011/1/17(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | タイプII構造の集積型極低温電流比較器の設計(超伝導センシング基盤技術及びその応用,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | An integrated cryogenic current comparator with type-II structure |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 極低温電流比較器 / Cryogenic Current Comparator |
| キーワード(2)（和/英） | 集積型極低温電流比較器 / Integrated Cryogenic Current Comparator |
| キーワード(3)（和/英） | 超伝導回路 / Superconducting Circuit |
| キーワード(4)（和/英） | ソレノイド / Solenoid |
| キーワード(5)（和/英） | 超伝導量子干渉素子 / superconducting quantum interference device |
| キーワード(6)（和/英） | インダクタンス / Inductance |
| キーワード(7)（和/英） | 電磁界解析 / Electromagnetic Analysis |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 山田 隆宏 / Takahiro YAMADA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | (独)産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 前澤 正明 / Masaaki MAEZAWA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | (独)産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 丸山 道隆 / Michitaka MARUYAMA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | (独)産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 大江 武彦 / Takehiko OE |
| 第 4 著者 所属（和/英） | (独)産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 浦野 千春 / Chiharu URANO |
| 第 5 著者 所属（和/英） | (独)産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 金子 晋久 / Nobu-hisa KANEKO |
| 第 6 著者 所属（和/英） | (独)産業技術総合研究所 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 日高 睦夫 / Mutsuo HIDAKA |
| 第 7 著者 所属（和/英） | (財)国際超電導産業技術研究センター International Superconductivity Technology Center (ISTEC) |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 佐藤 哲朗 / Tetsuro SATOH |
| 第 8 著者 所属（和/英） | (財)国際超電導産業技術研究センター International Superconductivity Technology Center (ISTEC) |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 永沢 秀一 / Shuichi NAGASAWA |
| 第 9 著者 所属（和/英） | (財)国際超電導産業技術研究センター International Superconductivity Technology Center (ISTEC) |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | 日野出 憲治 / Kenji HINODE |
| 第 10 著者 所属（和/英） | (財)国際超電導産業技術研究センター International Superconductivity Technology Center (ISTEC) |
| 発表年月日 | 2011-01-24 |
| 資料番号 | SCE2010-41 |
| 巻番号（vol） | vol.110 |
| 号番号（no） | 385 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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